[发明专利]一种可主动控温的VCSEL激光器TO封装结构在审
| 申请号： | 201911202216.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110867725A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 宋卿争;吴永康;杨逸峰;翟正一;余路伟 | 申请（专利权）人： | 上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/022 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;张静洁 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 主动 vcsel 激光器 to 封装 结构 | ||
1.一种VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，包含：VCSEL激光器(4)、热沉(3)、热电制冷器(2)、TO封装底座(1)、罩体(6)和匀光片(7)；
所述热电制冷器(2)固定连接在TO封装底座(1)和热沉(3)之间；所述VCSEL激光器(4)固定连接在热沉(3)上；通过所述VCSEL激光器(4)、热沉(3)、热电制冷器(2)、TO封装底座(1)，构成热传导的路径；
所述罩体(6)与TO封装底座(1)固定连接，将所述VCSEL激光器(4)、热沉(3)、热电制冷器(2)，以及TO封装底座(1)的上部，都置于罩体(6)内部；所述匀光片(7)设置在罩体(6)的表面开窗处。
2.如权利要求1所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述热电制冷器(2)的一端与所述TO封装底座(1)之间焊接；
所述热电制冷器(2)的另一端涂覆导热胶后与热沉(3)粘接；
所述热电制冷器(2)与主动控温电路连接；
所述VCSEL激光器(4)与热沉(3)之间共晶焊接。
3.如权利要求1所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述热沉(3)上还设置有测温元件(5)，将实时采集的温度反馈给热电制冷器(2)。
4.如权利要求3所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述测温元件(5)是表贴式热敏电阻；
所述测温元件(5)环布在VCSEL激光器(4)的激光光源附近，测得的温度近似为VCSEL激光器(4)发热部位的温度。
5.如权利要求3或4所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述热沉(3)的表面覆有绝缘层，将所述VCSEL激光器(4)和测温元件(5)隔开。
6.如权利要求3所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述TO封装底座(1)有多个管脚(11)，分别和所述VCSEL激光器(4)、测温元件(5)、热电制冷器(2)各自的正负极连接；
所述管脚(11)与TO封装底座(1)的本体结构之间设有绝热层。
7.如权利要求6所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述热电制冷器(2)的正负极可切换。
8.如权利要求6所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述TO封装底座(1)包含侧壁和底板；
所述管脚(11)分布地穿设在TO封装底座(1)的侧壁中，且管脚(11)上端和下端，分别超出TO封装底座(1)侧壁的上表面和下表面。
9.如权利要求8所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述VCSEL激光器(4)和测温元件(5)各自的正负极，与TO封装底座(1)的管脚(11)之间通过绑定的金线连接。
10.如权利要求1所述的VCSEL激光器TO封装结构，其特征在于，
所述罩体(6)内壁喷涂消光黑漆；
所述匀光片(7)是石英玻璃，允许不同波长的激光透过。
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