[发明专利]单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体顶端形成有进气口，且所述炉体的侧壁上形成有排气孔；

坩埚，所述坩埚置于所述炉体中部位并与所述进气口相对应；

加热器，所述加热器沿所述坩埚外周设置，用于对所述坩埚进行加热；

上保温筒，所述上保温筒置于所述炉体内侧上部且位于所述加热器的外侧，所述排气孔贯穿所述上保温筒；

气体分布器，所述气体分布器设置在所述上保温筒内侧且与所述排气孔相对应，所述气体分布器形成为环体且所述气体分布器上形成有开口，

所述气体分布器包括：

主体，所述主体上形成有所述开口；

下密封环，所述下密封环位于所述主体下方且连接所述主体与所述上保温筒以从下方密封所述气体分布器与所述上保温筒之间的间隙；以及

上密封环，所述上密封环位于所述主体上方且连接所述主体与所述上保温筒以从上方密封所述气体分布器与所述上保温筒之间的间隙，

所述排气孔位于所述上密封环与所述下密封环之间且在高度方向上位于所述加热器上沿的上方；

所述单晶炉还包括上保温毡，所述上保温毡位于所述上保温筒与所述炉体之间，所述炉体、所述上保温毡与所述上保温筒沿横向形成贯穿的所述排气孔；

所述气体分布器和所述加热器之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述排气孔数量为多个。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述排气孔数量为2个。

4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述排气孔的外部连接有排气管道。

5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述开口数量为多个，多个所述开口在所述主体上沿圆周方向均匀地间隔开分布。

6.根据权利要求1述的单晶炉，其特征在于，所述上保温筒和所述上保温毡分别为沿轴向直径保持一致的圆筒状。

7.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括导流筒，所述导流筒的上端与所述上保温筒的上端相连，且所述导流筒的下端位于所述坩埚上方并且所述导流筒的外径小于所述坩埚的内径。

8.根据权利要求7所述的单晶炉，其特征在于，所述排气孔在高度方向上位于所述导流筒底端以上。

9.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括下保温筒，所述下保温筒形成为筒状且位于所述炉体内侧下部。

10.根据权利要求9所述的单晶炉，其特征在于，还包括下保温毡，所述下保温毡形成为筒状且位于所述炉体与所述下保温筒之间。