[发明专利]压电传感器及其制备方法、显示装置

权利要求书

1.一种压电传感器，其特征在于，包括设置在衬底上的多个压电单元，每个所述压电单元包括层叠设置的第一电极、压电图案以及第二电极；所述压电图案的材料为压电材料。

2.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述压电图案的尺寸为微米级或纳米级。

3.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，多个所述压电单元中的所述第二电极通过连接电极电连接在一起；

所述第二电极与所述连接电极同层同材料。

4.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，所述压电图案的侧壁与所述衬底之间的夹角范围为85°～90°。

5.一种显示装置，其特征在于，包括显示面板和如权利要求1～4任一项所述的压电传感器。

6.根据权利要求5所述的显示装置，其特征在于，所述显示面板包括多个亚像素；

所述压电单元在所述显示面板上的正投影与至少一个所述亚像素具有重叠区域。

7.一种压电传感器的制备方法，其特征在于，

在衬底上形成多个压电单元；每个所述压电单元包括依次形成在所述衬底上的第一电极、压电图案以及第二电极；所述压电图案的材料为压电材料。

8.根据权利要求7所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，

在所述衬底上形成压电图案和所述第二电极，包括：

在所述第一电极上形成压电薄膜；

在所述压电薄膜上形成光刻胶图案；

通过刻蚀工艺，去除所述压电薄膜上未被所述光刻胶图案覆盖的区域，以形成所述压电图案；

去除所述光刻胶图案，在所述压电图案上形成第二电极；

或者，

在所述第一电极上形成压电薄膜；

在所述压电薄膜上形成保护图案；所述保护图案的材料为导电材料；

通过刻蚀工艺，去除所述压电薄膜上未被所述保护图案覆盖的区域，以形成所述压电图案；

在所述保护图案上形成导电层；所述保护图案和所述导电层中位于所述保护图案上的部分构成所述第二电极；

或者，在所述第一电极上形成压电薄膜；

在所述压电薄膜上形成第二电极；

通过刻蚀工艺，去除所述压电薄膜上未被所述第二电极覆盖的区域，以形成所述压电图案。

9.根据权利要求8所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，

在所述压电薄膜上形成保护图案，或者，在所述压电薄膜上形成第二电极，包括：

在所述压电薄膜上形成导电层；

在所述导电层上形成光刻胶层；

对所述光刻胶层进行构图，形成光刻胶图案；

去除所述导电层中未被所述光刻胶图案的覆盖区域，以形成保护图案或第二电极。

10.根据权利要求8所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，

所述刻蚀工艺为干法刻蚀工艺。