[发明专利]一种多功能Stokes-Mueller矩阵成像偏振仪的标定方法

权利要求书

1.一种多功能Stokes-Mueller矩阵成像偏振仪的标定方法，其特征在于，

在样品台上放置标准平面反射镜，其Mueller矩阵为M_R；采用一次本征值标定法对反射系统进行标定，获得PSG的仪器矩阵GT_R以及PSA的仪器矩阵AT_R，完成标定；其中，GT_R为光束第一次通过物镜时物镜的Mueller矩阵M_L1f、光束第一次通过分束镜时分束镜的Mueller矩阵Bs_f和PSG的Mueller矩阵G_R的乘积；AT_R为PSA的Mueller矩阵A_R、光束第二次通过分束镜时分束镜的Mueller矩阵Bs_b和光束第二次通过物镜时物镜的Mueller矩阵M_L1b的乘积；

获得GT_R和AT_R具体步骤如下：

步骤301，不加任何标定样品，获得探测器探测的光强矩阵I₁₀：

I₁₀＝A_R·Bs_b·M_L1b·M_R·M_L1f·Bs_f·G_R (5)

步骤302，依次将标定样品S_n，其中n＝1,2,3，放置在物镜和标准平面反射镜之间，获得对应的探测器探测的光强矩阵I_1n：

I_1n＝A_R·Bs_b·M_L1b·M_rbn·M_R·M_rfn·M_L1f·Bs_f·G_R (6)

其中，S₁代表透光轴方向为水平方向的偏振片，S₂代表透光轴方向为垂直方向的偏振片，S₃代表快轴方位角为30快的四分之一波片；M_rbn为光束第二次通过标定样品S_n时标定样品S_n的Mueller矩阵，M_rfn为光束第一次通过标定样品S_n时标定样品S_n的Mueller矩阵；

步骤303，利用I₁₀和I_1n构建矩阵C_1n：

对式(7)进行计算求得GT_R：

GT_R＝M_L1f·Bs_f·G_R (9)

然后再根据式(5)求得AT_R：

AT_R＝A_R·Bs_b·M_L1b＝I₁₀·GT_R^-1·M_R^-1。 (10)

2.如权利要求1所述的多功能Stokes-Mueller矩阵成像偏振仪的标定方法，其特征在于，还包括对透射系统进行标定的步骤，具体如下：

移除标准平面反射镜，将标定样品S_n放置在聚光镜和物镜之间的样品台上，采用一次本征值标定法对透射系统进行标定，获得PSG当前的仪器矩阵GT_T以及PSA当前的仪器矩阵AT_T，完成标定；其中，GT_T为聚光镜的Mueller矩阵和PSG的Mueller矩阵的乘积；AT_T为PSA的Mueller矩阵和物镜的Mueller矩阵的乘积。