[发明专利]一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种真空镀膜夹具，其特征在于：包括工件挂架和挂架安装座；

工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；

挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；

挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接，以使得各工件挂架能够单独地从挂架安装座上取下和安装到挂架安装座上；

挂架安装座包括上安装座和下安装座；

上安装座的底面和工件挂架的顶部的其中一个上设有上插接腔，另一个上设有上插接凸起，上插接腔供上插接凸起插入以在水平方向上形成限位；

下安装座的顶面和工件挂架的底部的其中一个上设有下插接腔，另一个上设有下插接凸起，下插接腔供下插接凸起插入以在水平方向上形成限位；

上插接凸起和上插接腔供工件挂架以倾斜形式与上安装座形成插接；

上插接凸起与上插接腔完全插接到位时，下插接凸起与下插接腔在上下方向上相互分离，使得下插接凸起与下插接腔能够在水平方向上对齐进而在工件挂架下移时形成插接；

下插接凸起与下插接腔的插接适配长度小于上插接凸起与上插接腔的插接适配长度，使得下插接凸起与下插接腔完全插接到位时，工件挂架支撑在下安装座上，且上插接凸起与上插接腔仍处于插接状态；

所述上安装座和下安装座为环体结构；

所述工件挂架为框架结构，框架结构上设有支撑梁，所述工件挂装结构设置在支撑梁上；各支撑梁沿上下方向间隔布置，相邻两个支撑梁沿上下方向的距离可调，所述支撑梁的两端均设有卡装槽，所述支撑梁通过卡装槽可拆卡装到框架结构上，所述工件挂架为圆弧框架，多个圆弧框架围成环形。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于：上插接凸起和下插接凸起均设置在工件挂架上。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜夹具，其特征在于：下插接凸起为台阶结构，下插接凸起的顶部尺寸小于底部尺寸而形成台阶，台阶形成支撑面，支撑面用于支撑到下插接腔的腔口口沿上，使得工件挂架支撑在下安装座上。

4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜夹具，其特征在于：下插接凸起和/或上插接凸起为插接柱，对应的下插接腔和/或上插接腔为插接孔。

5.一种真空镀膜设备，包括炉腔，炉腔的底部设有转盘，所述转盘上固定有真空镀膜夹具，其特征在于：所述真空镀膜夹具如权利要求1-4任一项所述的真空镀膜夹具。