[发明专利]一种图案化碳纳米管阵列柔性复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种图案化碳纳米管阵列柔性复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：

1)获得精密图案的光刻胶基底；

2)对获得的非图案区域基底进行碳纳米管阵列生长抑制；

3)利用气象沉积法制备图案化碳纳米管阵列；

4)对图案化多壁碳纳米管阵列进行柔性聚合物复合，获得柔性图案化碳纳米管阵列复合膜；

5)对柔性碳纳米管阵列复合膜进行超薄切片获得柔性薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1)所述精密图案光刻胶基底为紫外正性光刻胶。

3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述的光刻胶厚度为2-4μm。

4.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，光刻胶固化时间为1.5-3h，固化温度为90-95℃。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2)所述的抑制包括铂粒子蒸镀。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，铂粒子蒸镀层厚度为60-200nm。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤4)所述的柔性聚合物包括环氧树脂、领苯二甲酸丁二脂、聚氨酯在内的柔性的树脂聚合物。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤4)所述的柔性聚合物为环氧树脂，其质量配比为环氧树脂：聚氨酯：领苯二甲基丁二脂＝10:8-12:6-10。

9.如权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述的环氧树脂的固化温度为50-80℃，固化时间为4-10h。

10.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤5)超薄切片的切片厚度为10-50μm。