[发明专利]一种无基板电感元件及其制备方法在审
申请号: | 201911211214.2 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN110767635A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 管春风;李军;向燕 | 申请(专利权)人: | 旺诠科技(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01F27/28;H01F27/29;H01F27/32;H01F41/04;H01F41/10;H01F41/12 |
代理公司: | 44214 广州市红荔专利代理有限公司 | 代理人: | 胡昌国 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 增厚层 电感元件 磁性材料层 绝缘包覆层 端电极 隔离层 无基板 主线路 制备 微型化 成型阶段 预备阶段 包覆层 电路层 外包覆 线路层 基板 移除 切割 增设 覆盖 基层 | ||
本发明涉及一种无基板电感元件的制备方法,包括基层预备阶段、电路层形成阶段、包覆层形成阶段、增厚层形成阶段、切割覆盖阶段和移除成型阶段。同时本发明还公开了一种无基板电感元件,包括磁性材料层、增厚层、主线路层、绝缘包覆层、隔离层和端电极,所述磁性材料层一侧与所述增厚层连接,所述增厚层两端各设有一个绝缘包覆层,所述绝缘包覆层内设有主线路层,所述主线路层两端分别与一个端电极连接,所述磁性材料层和所述增厚层外包覆有隔离层。使用该方法制备的电感元件不具备基板,还能通过增设增厚层有效的替升电感元件的特性,缩小了产品的组件尺寸,便于电感元件的微型化。
技术领域
本发明涉及一种无基板电感元件及其制备方法,涉及电感元件的生产制备领域及电感元件。
背景技术
随着半导体技术日趋精进,电子产品也朝向小型化发展。其中电子产品所搭载的电阻、电容、电感等组件,也需配合此发展趋势,达到缩小电子产品成型尺寸的目的。
对电感元件而言,在缩小电感元件成型尺寸的同时,还需考虑电感元件的Q值等特性,以现有电感元件的一体成形微型电感元件来看,其制程是先在一基板上透过绕线方式形成线路层后,再进行后续封装成型。然而,在线圈绕线时具有一定难度,且当要缩小组件尺寸时,线圈会占用过多磁性材料使用的空间,且生产的电感元件具有基板,导致制备的电感元件的特性较差,尺寸较大,从而增加了电感元件的整体尺寸小型化的难度。
发明内容
鉴于以上现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种无基板电感元件及其制备方法,使用该方法制备的电感元件无基板,缩小了电感元件的尺寸,在提升电感元件特性的情况下缩小了电感元件的尺寸,便于电感元件的微型化。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供了一种无基板电感元件的制备方法,包括第一步,基层预备阶段,首先在基板上涂覆隔离膜,接着在隔离膜上以压模的方式制备一层磁性材料层,并在磁性材料层上印刷上绝缘膜,之后在绝缘膜上镀上铜晶种层,完成基层预备阶段的工作;
第二步,电路层形成阶段,在铜晶种层上喷涂第一光阻层,并对绝缘膜上侧的第一光阻层进行曝光显影,令铜晶种层露出,之后在露出的铜晶种层上镀上第一电路层,之后在第一电路层和第一光阻层上镀上第二光阻层,然后再对第一电路层上端的第二光阻层进行曝光显影,露出第一电路层,并在第一电路层上侧镀上主线路层,随后再进行曝光显影,移除第一光阻层和第二光阻层,电路层形成阶段完成;
第三步,包覆层形成阶段,在电路层形成阶段完成后,通过蚀刻的方式将磁性材料层上的铜晶种层移除,随后在主线路层外包覆绝缘包覆层,包覆层形成阶段完成;
第四步,增厚层形成阶段,在磁性材料层上以压模的方式形成增厚层,并对增厚层进行研磨,以达到组件整体的预设厚度;
第五步,切割覆盖阶段,对增厚层的两端进行切割至隔离膜上侧表面,得到半成品组件,并在半成品的外围涂覆隔离膜,形成隔离层,之后对主线路层端部上的隔离膜进行切除,使主线路层端部露出;
第六步,移除成型阶段,首先用热脱胶贴附在隔离层和主线路层外侧,再以蚀刻的方式移除基板,然后撕去热脱胶,之后在主线路层端部依次镀上铜层、镍层和锡层,电感元件制备完成。
此外本发明还公开了一种使用上述制备方法制备的无基板电感元件,包括磁性材料层、增厚层、主线路层、绝缘包覆层、隔离层和端电极,所述磁性材料层一侧与所述增厚层连接,所述增厚层两端各设有一个绝缘包覆层,所述绝缘包覆层内设有主线路层,所述主线路层两端分别与一个端电极连接,所述磁性材料层和所述增厚层外包覆有隔离层。
优选地,所述端电极包括铜层、镍层和锡层,所述主线路层的端部与所述铜层连接,所述铜层与所述镍层连接,所述镍层与所述锡层链接。
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