[发明专利]用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法

权利要求书

1.一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器，其特征在于，包括：

光电转换模块，用于将所述光刻机调焦调平系统产生的多路测量光同步转换为多路模拟电信号；所述光电转换模块包括：光电二极管阵列，每个光电二极管能够将所述测量光转换为一路模拟电信号；

同步模数转换模块，用于分别将所述光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号；所述同步模数转换模块包括：

多个放大电路，与所述光电二极管数量相同，用于对所述光电转换模块的多路模拟电信号进行放大处理；以及

多通道模数转换芯片，具有与所述光电二极管数量相同的通道数量，用于对所述多个放大电路处理后的多路模拟电信号进行模数转换，而产生所述多路数字电信号；

工件台同步模块，用于将一光刻机工件台的位置脉冲信号发送至主控模块；所述工件台同步模块包括：通信接口，用于接收所述光刻机工件台的位置脉冲信号；以及光耦合器，用于使所述位置脉冲信号单向发送至所述主控模块；以及

主控模块，用于接收所述工件台同步模块的位置脉冲信号，并根据所述位置脉冲信号驱动所述光电转换模块和同步模数转换模块，以及同步接收并处理所述同步模数转换模块的多路数字电信号；所述主控模块包括：

多个串行接口单元，与所述多通道模数转换芯片的通道数量相同，用于读取所述多通道模数转换芯片产生的多路数字电信号，以及设置所述多通道模数转换芯片的模数转换范围；

数字滤波单元，用于对所述多个串行接口单元读取的多路数字电信号进行低通滤波，并将滤波后的多路数字电信号发送至串并转换控制单元；

串并转换控制单元，用于并行接收所述滤波后的多路数字电信号以及位置脉冲信号，并发送至一串行链路模块；以及

同步控制单元，用于根据所述工件台同步模块的位置脉冲信号向所述串行接口单元发送模数转换指令；

所述光电探测器还包括：串行链路模块，用于将所述主控模块接收及处理的并行信号转换为串行信号，以及将所述串行信号发送至一上位机；以及电源模块，为所述光电探测器的各个模块供电。

2.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于，所述串行链路模块包括依次相连的并串转换芯片、串行接口和串行数据线。

3.一种光刻机调焦调平系统，其特征在于，包括：

位置可调的光刻机工件台，用于放置一待测物体；

前光学单元，包括投影光栅、检测光栅和分光部件，其中一照明光通过所述投影光栅而产生的投影光栅像，经待测物体表面反射后由分光部件分为偏振态相互垂直的两个投影光栅像，所述两个投影光栅像分别与所述检测光栅叠加形成两个莫尔条纹；

如权利要求1至2中任一项所述的光电探测器，用于对所述前光学单元产生的两个莫尔条纹进行同步采集。

4.一种如权利要求1至2中任一项所述的用于光刻机调焦调平系统的光电探测器的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

工件台同步模块将接收到一光刻机工件台发出的位置脉冲信号发送至主控模块；

所述主控模块根据所述位置脉冲信号驱动光电转换模块和同步模数转换模块运行；

所述光电转换模块将所述光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号，所述光电转换模块将所述多路模拟电信号转换为多路模拟数字信号；

所述主控模块同步接收并处理所述多路数字电信号。

5.根据权利要求4所述的使用方法，其特征在于，所述使用方法还包括：

所述主控模块将所述多路数字电信号和位置脉冲信号通过串行链路模块发送至上位机。