[发明专利]高稳定低串扰分束装置

权利要求书

1.一种分束装置，其特征在于，包括：输入多模光纤、多模光纤准直器、分束棱镜、N个多模光纤耦合器、N个多模光纤和N个探测器，其中：

从输入多模光纤输入一束包含若干个波长的光束，所述光束经多模光纤准直器进行准直后输入所述分束棱镜，经分束棱镜分束后输出N个不同波长的单色光，所述N个不同波长的单色光分别通过所述N个多模光纤耦合器耦合进入N个多模光纤中，经过所述N个多模光纤传输后进入N个探测器，由此所述N个探测器分别获得所述N个不同波长的单色光的信息。

2.根据权利要求1所述的分束装置，其特征在于，所述N为大于等于2的自然数，优选为4。

3.根据权利要求1所述的分束装置，其特征在于，所述分束棱镜包括一个直角棱镜和N-1个相同的平行四边形棱镜，其中所述直角棱镜为等边直角三角形棱镜，其直角边长为L1，斜边长为L2；每一个所述平行四边形棱镜的锐角大小均为45度，其底边长度均为L3，斜边长度均为L4，且有L3＝L1，L4＝L2。

4.根据权利要求3所述的分束装置，其特征在于，所述直角棱镜与所述多模光纤准直器相邻的直角面镀有增透膜，与所述多模光纤耦合器相邻的直角面镀有窄带滤光膜，斜面镀有分色膜；每一个所述平行四边形棱镜的靠近多模光纤准直器的斜面镀有增透膜，与多模光纤耦合器相邻的顶面镀有窄带滤光膜，与镀有增透膜的斜面相对的斜面镀有分色膜。

5.根据权利要求3所述的分束装置，其特征在于，所述分束棱镜包括的一个直角棱镜和N-1个平行四边形棱镜之间通过胶水或光胶的形式胶合在一起，形成一个整体。

6.根据权利要求4所述的分束装置，其特征在于，所述增透膜对包含四个波长的光束的每个波长均具有高透过率，所述窄带滤光膜仅让一个波长的光束通过，而对其他波长的光束是截止的，所述分色膜对所述窄带滤光膜允许通过的波长的光束具有高反射作用，而对所述其他波长的光束具有高透过率；如此，从分束棱镜出射的四束光为不同波长的单色光。

7.根据权利要求1所述的分束装置，其特征在于，所述分束装置还包括机械外壳，所述分束棱镜通过胶水和机械外壳固定在一起。

8.根据权利要求1所述的分束装置，其特征在于，所述多模光纤准直器和若干多模光纤耦合器直接固定在机械外壳上，多模光纤准直器和若干多模光纤耦合器具备X方向、Y方向、绕X方向及绕Y方向旋转的四个自由度，并都具有锁紧按钮。

9.一种采用如权利要求1-9任一项所述的分束装置对一束包含不同波长的光进行分束的光刻设备。