[发明专利]反射式光学系统及其装调测试方法有效

专利信息
申请号: 201911212108.6 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN110941075B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 王丹;徐天伟;宗明成;马向红;谢冬冬;齐月静;马敬;孟璐璐 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B7/198 分类号: G02B7/198;G02B17/06;G01M11/02;G01B11/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 反射 光学系统 及其 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种反射式光学系统,其特征在于,包括镜筒,其中,

镜筒顶部设有主镜;

镜筒底部设有次镜,次镜上设有进光孔和出光孔;

所述次镜上设有有效反光区,以及位于有效反光区外围的进光孔和出光孔,从进光孔入射的光经所述主镜反射到所述有效反光区、再从有效反光区反射到所述主镜、之后经所述主镜再次反射后经所述出光孔出射到所述反射式光学系统的外部;

镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔,所述三坐标探针适用于测量所述主镜和所述次镜相对于理想位置的倾斜;

镜筒上设有法兰面,作为三坐标测量的基准面;

所述主镜和/或次镜通过弹簧柱塞固定在镜筒上;

所述主镜和/或次镜的倾斜角度是通过调节弹簧柱塞实现的,

其中,所述主镜和所述次镜的尺寸大致相同。

2.根据权利要求1所述的反射式光学系统,其特征在于,

所述主镜为凹球面反射镜;

所述次镜为凸球面反射镜。

3.根据权利要求1所述的反射式光学系统,其特征在于,

所述法兰面上设有用于定位的定位销孔。

4.一种反射式光学系统的装调测试方法,采用如权利要求1至3任一项所述的反射式光学系统,包括如下步骤:

建立基准坐标系;

计算主镜球心坐标、次镜球心坐标;

根据主镜球心坐标、次镜球心坐标分别计算偏差数据;

将计算得到的偏差数据代入公差分析表格分析,得出分析结果;

若分析结果满足成像性能需求则装调测试结束,若分析结果不满足成像性能需求则调整主镜和/或次镜的倾斜角度重复上述步骤直到分析结果满足成像性能需求时,完成装调测试。

5.根据权利要求4所述的装调测试方法,其特征在于,

所述基准坐标系的基准平面为法兰面,基准坐标系的Z轴中心为三个定位销孔形成的几何中心。

6.根据权利要求4所述的装调测试方法,其特征在于,

所述的偏差数据包括主镜和/或次镜相对于理想位置的平移、倾斜量。

7.根据权利要求4所述的装调测试方法,其特征在于,

所述公差分析表格通过光学仿真软件得到。

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