[发明专利]环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器

权利要求书

1.一种环形支撑结构，其特征在于，包括：

壳体；

环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；

支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口；

所述支撑部的壁厚为1mm~2mm；

所述导气槽口沿所述支撑部的圆周等间隔设置多个；

所述导气槽口的开口由所述支撑部的端部向所述环形凸部延伸；

所述壳体、所述环形凸部和所述支撑部一体成型。

2.如权利要求1所述的环形支撑结构，其特征在于，所述壳体、所述环形凸部和所述支撑部的材质为合金。

3.一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，包括：

如权利要求1至2任一项所述的环形支撑结构；

陶瓷基体，设置于所述环形支撑结构的支撑部上，用于形成固定电极基体。

4.如权利要求3所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷基体设置为纵截面为T形的柱型结构；所述陶瓷基体径向上凸出的环形连接部设置于所述环形支撑结构的支撑部上。

5.如权利要求3所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷电容式压力传感器还包括：

金属膜片，设置于所述环形支撑结构的环形凸部下方，用于形成可变电极；

标准压力腔室，形成于所述金属膜片上方的所述壳体形成的空间内；其中，所述标准压力腔室的陶瓷基体的两侧通过所述导气槽口、所述陶瓷基体和所述壳体之间的间隙导通。

6.如权利要求5所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷电容式压力传感器还包括检测口，设置于所述壳体的靠近所述金属膜片的一端，用于通入一测量介质以施加压力使所述金属膜片发生形变。

7.如权利要求6所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷电容式压力传感器还包括：

抽真空部件，设置于所述壳体的远离所述检测口的端盖上；用于将所述标准压力腔室内空气排出，以使所述标准压力腔室内维持标准压力。

8.如权利要求5所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷电容式压力传感器还包括一导电层，设置于所述陶瓷基体相对所述金属膜片的一侧，用于与所述陶瓷基体结合形成定电极。