[发明专利]一种预测光学元件表面激光损伤性能的方法和系统

权利要求书

1.一种预测光学元件表面激光损伤性能的方法，其特征在于，包括：

选取标准光学元件；

获取所述标准光学元件的吸收性缺陷分布特性，得到不同吸收水平的缺陷密度；

获取损伤性能；所述损伤性能包括损伤阈值和损伤密度；

采用Spearman相关性分析法，确定所述标准光学元件的不同吸收水平的缺陷密度中与损伤性能相关性最高的缺陷密度，得到各所述损伤性能对应的缺陷密度，并建立损伤性能与其对应的缺陷密度之间的关联曲线，作为标准曲线；

获取待检测光学元件的缺陷密度，根据所述标准曲线，确定所述待检测光学元件的损伤性能；

其中，采用光热共路干涉技术，对所述标准光学元件的表面弱吸收系数进行测试，获取所述标准光学元件的吸收性缺陷分布特性，得到不同吸收水平的缺陷密度；

所述获取损伤性能包括：

采用不同等级的激光辐射所述标准光学元件，直至所述标准光学元件发生损伤；

测试所述标准光学元件的损伤阈值；

检测损伤区域中损伤点的分布情况，获得损伤密度；

根据所述损伤阈值和所述损伤密度，获取所述标准光学元件的损伤性能。

2.根据权利要求1所述的一种预测光学元件表面激光损伤性能的方法，其特征在于，所述标准光学元件的表面处理工艺与待测光学元件的表面处理工艺相同。

3.根据权利要求1所述的一种预测光学元件表面激光损伤性能的方法，其特征在于，采用多个所述标准光学元件获取所述标准曲线。

4.一种预测光学元件表面激光损伤性能的系统，其特征在于，包括：

标准光学元件选取模块，用于选取标准光学元件；

缺陷密度获取模块，用于获取所述标准光学元件的吸收性缺陷分布特性，得到不同吸收水平的缺陷密度；

损伤性能获取模块，用于获取损伤性能；所述损伤性能包括损伤阈值和损伤密度；

标准曲线建立模块，用于采用Spearman相关性分析法，确定所述标准光学元件的不同吸收水平的缺陷密度中与损伤性能相关性最高的缺陷密度，得到各所述损伤性能对应的缺陷密度，并建立损伤性能与其对应的缺陷密度之间的关联曲线，作为标准曲线；

损伤性能确定模块，用于获取待检测光学元件的缺陷密度，根据所述标准曲线，确定所述待检测光学元件的损伤性能；

其中，所述缺陷密度获取模块包括：

光热共路干涉单元，用于采用光热共路干涉技术，对所述标准光学元件的光热弱吸收系数进行测试，获取所述标准光学元件的吸收性缺陷分布特性，得到不同吸收水平的缺陷密度；

所述损伤性能获取模块包括：

激光辐射单元，用于采用不同等级的激光辐射所述标准光学元件，直至所述标准光学元件发生损伤；

损伤阈值测试单元，用于测试所述标准光学元件的损伤阈值；

损伤密度获取单元，用于检测损伤区域中损伤点的分布情况，获得损伤密度；

损伤性能获取单元，用于根据所述损伤阈值和所述损伤密度，获取所述标准光学元件的损伤性能。