[发明专利]一种检测装置

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于该检测装置中感应元件是硅基集成电路工艺制造的芯片器件，依次包括衬底底层，隔绝层，导电层，纳米材料层，钝化层，导出电极等，其中纳米材料层增强光吸收并释放热量以提高灵敏度,感应器件的导电层连接出两个电极,接至信号处理电路或设备。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件的衬底层是包括但是不限于单晶或者多晶硅片或有机薄膜等固体或柔性材料，感应器件的隔绝层是绝缘的材料制成，包括但是不限于氧化硅、氮化硅等，感应器件是导电层是厚度为合适的导电材料，包括但是不限于非晶硅、金属、纳米点、氧化钒等半导体材料，钝化层是氧化硅。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件中所用纳米材料包括多种形状的纳米粒子，包括但是不限于金纳米棒,纳米棒，纳米球、纳米线或纳米晶体等,纳米粒子是具有受控密度的对准或随机取向的，感应器件中的纳米材料层是单层的或者多层纳米材料重叠的方式以提高器件性能，纳米材料层中间可以包括连接层。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征是感应器件的导电层连接出两个电极，电极连接至信号处理电路或设备，在有无光信号激励时反应不同，从而实现检测，信号处理电路可以是读出电路或者是源测量单元等设备。