[发明专利]Micro LED的转移方法及转移装置

权利要求书

1.一种Micro LED的转移方法，其特征在于，包括：

第一临时基板与位于衬底基板上的Micro LED的第一表面进行贴合；

剥离所述衬底基板；

拉伸基板与所述Micro LED的第二表面进行贴合；

剥离所述第一临时基板；

将所述拉伸基板进行横向和纵向拉伸，同时，在所述横向和所述纵向方向上，由所述拉伸基板中间到所述拉伸基板两边，以加热热量递减的方式对所述拉伸基板进行加热，使相邻所述Micro LED之间的距离达到预定的目标值；

第二临时基板与所述Micro LED的第一表面进行贴合；

剥离所述拉伸基板；

转移基板与所述Micro LED的第二表面进行贴合；

剥离所述第二临时基板；

所述转移基板带动所述Micro LED与阵列基板键合；

剥离所述转移基板。

2.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述将所述拉伸基板进行横向和纵向拉伸，使相邻所述Micro LED之间的距离达到预定的目标值的具体步骤包括：

将所述拉伸基板进行横向均匀拉伸，并检测相邻所述Micro LED之间的横向距离；

将所述拉伸基板进行纵向均匀拉伸，并检测相邻所述Micro LED之间的纵向距离。

3.如权利要求2所述的转移方法，其特征在于，所述将所述拉伸基板进行横向均匀拉伸，并检测相邻所述Micro LED之间的横向距离的具体步骤包括：

对所述拉伸基板横向方向上的两对边，分别施加背离基板中心的均匀外力；

通过自动光学检测器对相邻所述Micro LED之间的横向距离进行检测；

当相邻所述micro LED的横向距离未达到目标值时，继续将所述拉伸基板进行横向均匀拉伸；

当相邻所述micro LED的间距达到目标值时，停止拉伸。

4.如权利要求2所述的转移方法，其特征在于，所述将所述拉伸基板进行纵向均匀拉伸，并检测相邻所述Micro LED之间的纵向距离的具体步骤包括：

对所述拉伸基板纵向方向上的两对边，分别施加背离基板中心的均匀外力；

通过自动光学检测器对相邻所述Micro LED之间的纵向距离进行检测；

当相邻所述micro LED的纵向距离未达到目标值时，继续将所述拉伸基板进行纵向均匀拉伸；

当相邻所述micro LED的纵向距离达到目标值时，停止拉伸。

5.如权利要求2所述的转移方法，其特征在于，所述将所述拉伸基板进行横向和纵向拉伸，使相邻所述Micro LED之间的距离达到预定的目标值的具体步骤还包括：

在拉伸的过程中对所述拉伸基板进行加热。

6.如权利要求1所述的转移方法，其特征在于，所述转移基板带动所述Micro LED与阵列基板键合的具体步骤包括：

所述转移基板带动间距排列成目标值的所述Micro LED与阵列基板进行对准；

将所述Micro LED与所述阵列基板进行键合；

通过激光剥离技术，将所述转移基板剥离掉。

7.一种Micro LED的转移装置，其特征在于，包括：

第一临时基板，用于临时承载所述Micro LED；

基板剥离构件，用于对粘结所述Micro LED的基板进行剥离；

拉伸基板，用于承载所述Micro LED，所述拉伸基板可以进行横向和纵向拉伸；

拉伸构件，包括横向夹持拉伸部件、纵向夹持拉伸部件、以及可调式加热构件，所述横向夹持拉伸部件用于夹持所述拉伸基板横向方向上的两对边，并对所述对边施加背离基板中心的均匀外力，所述纵向夹持拉伸部件用于夹持所述拉伸基板纵向方向上的两对边，并对所述对边施加背离基板中心的均匀外力，所述可调式加热构件用于对所述拉伸基板由中间向两边以加热热量递减的方式进行加热；

第二临时基板，用于临时承载所述Micro LED；

转移基板，用于将所述Micro LED转移至阵列基板。