[发明专利]一种PECVD石墨舟载具的制造方法在审
| 申请号： | 201911220599.9 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110760822A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 邱家梁;黄惜惜;周肃;贾佳;黄国平;李菁楠;曹华斌;张会学;姜利凯;杨忠绪 | 申请（专利权）人： | 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 汤磊 |
| 地址： | 212132 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨舟 浸渍浆料 碳材料 半成品 碳化硅膜层 表面原位生长 致密 表面高温 表面形成 成品零件 高温裂解 聚碳硅烷 均匀涂覆 冷热冲击 企业生产 生产过程 使用寿命 疏松多孔 保护层 反应炉 耐高温 放入 硅粉 裂解 载具 组装 制造 维护 | ||
1.一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤1，配制浸渍浆料：所述浸渍浆料包含按重量份(35～54)∶(45～60)∶(0.1～5)配比的聚碳硅烷、二甲苯、硅粉，各组分混合后球磨；
步骤2，涂覆：将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上，得到中间品；
步骤3，高温裂解：将中间品放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应，浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层，得到石墨舟成品零件；
步骤4，将石墨舟成品零件组装成石墨舟。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤1中，所述聚碳硅烷的分子量为1000～3000，硅粉粒径为0.01～100μm。
3.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤2中，所述涂覆的方法为浸泡或涂刷。
4.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤2中，所述浸渍浆料涂覆层的厚度为0.01～5mm。
5.根据权利要求4所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤2中，所述浸渍浆料涂覆层的厚度为0.2～1mm。
6.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤3中，所述碳化硅膜层的厚度为0.01～1mm。
7.根据权利要求6所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤3中，所述碳化硅膜层的厚度为0.01～0.5mm。
8.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤3中，所述高温裂解反应的过程为：第一阶段，加热，温度150～250℃、时间0.5～3h；第二阶段，加热，温度1100～1300℃、时间0.5～10h；第三阶段，加热，温度1400～1600℃、时间1～3h；第四阶段，冷却，温度1600～1200℃、冷却速率50～150℃/h；第五阶段，冷却，温度1200～900℃、冷却速率100～200℃/h；第六阶段，冷却，温度900～400℃、冷却速率200～400℃/h；第七阶段，冷却，温度400～20℃。
9.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤3中，保护气氛为氩气、氮气或两者的混合物。
10.根据权利要求8所述的一种PECVD石墨舟载具的制造方法，其特征在于：步骤3中，第二阶段、第三阶段在相同的压强条件下进行加热。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
