[发明专利]一种共晶增强增韧氮化硅陶瓷的制备方法有效

专利信息
申请号: 201911221429.2 申请日: 2019-12-03
公开(公告)号: CN110818428B 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 陈克新;张杰;刘光华;崔巍 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C04B35/596 分类号: C04B35/596;C04B35/64
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 陈波
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 氮化 陶瓷 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种共晶增强增韧氮化硅陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)准备原料:将以下组分混合均匀,得到混合物;

氮化硅粉;70-90wt%,

烧结助剂;5-20wt%,

相变抑制剂;1-10%;

(2)将步骤(1)所得混合物进行放电等离子体烧结,得到一次烧结体;

(3)将步骤(2)所得物进行气压烧结,得到具有α/β共晶组织的氮化硅陶瓷;

步骤(1)中所述氮化硅粉的纯度99wt%;平均粒径0.5-2μm,氮化硅粉的α相含量为95wt%;所述烧结助剂选自Al2O3、MgO、SiO2、Y2O3、ZrO2、R2O3、MgSiN2中的至少一种;其中R代表稀土元素;所述的烧结助剂平均粒度为300-500nm,纯度99wt%;所述相变抑制剂选用CaO;

步骤(2)所述的烧结,升温速率为150-200℃/min;使用的模具为石墨材质,在模具与混合料间用碳纸进行隔离。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述的混合包括砂磨、球磨或搅拌磨;使用的介质选自水、甲醇、乙醇中的一种;所述砂磨的磨球选自氮化硅磨球、氧化锆磨球、玛瑙磨球中的一种;磨球尺寸1mm;所述球磨的磨球为氮化硅磨球,磨球尺寸为3-10mm;所述搅拌磨的磨球为氮化硅磨球,磨球尺寸为3-10mm。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述的混合,其转速为300-3000r/min,混料时间为2-10h。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)包括:将步骤(1)所得混合物干燥,过60-200目筛,装料于SPS模具内,然后将所述反应模具放置在放电等离子体烧结装置内,抽真空后,对原料加压,同时通电加热进行烧结;反应结束后,样品随炉进行冷却;冷却后得到一次烧结产物;所述烧结压力范围为10-100MPa,烧结温度为1500℃,保温时间为5min。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述的一次烧结体相对密度99%,α相含量90%。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(3)包括:将步骤(2)所得物置于氮化硼坩埚内,在烧结炉中以5-10℃/min的速度升温至1500-1700℃,保温0.5-1h,随后快速降温至900℃,然后以20℃/min的速度升温至1500-1700℃,然后停止加热随炉冷却至室温;在快速降温过程中,炉内压力的震荡范围为1-8MPa。

7.根据权利要求1-6任一项所述方法制备得到的氮化硅陶瓷,其特征在于,所述氮化硅相对密度99%,断裂韧性10MPa·m1/2,维氏硬度18Gpa,抗弯强度600MPa。

8.根据权利要求7所述的氮化硅陶瓷,其特征在于,所述氮化硅陶瓷具有α/β共晶组织,其断裂韧性比没有共晶组织的陶瓷提高50%以上,且可以承受1-3%的应变不产生断裂。

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