[发明专利]一种OLED面板、OLED面板的制备方法和显示装置

说明书

本发明公开了一种OLED面板、OLED面板的制备方法和显示装置。该OLED面板包括基板；发光器件阵列，位于所述基板上；薄膜封装层，封装所述发光器件阵列，所述薄膜封装层包括至少一个有机薄膜层和至少一个无机薄膜层；至少一个所述有机薄膜层为含氧氟有机薄膜层。本发明提供的技术方案使用含氧氟有机薄膜层替换现有技术中的有机薄膜层，能够提高薄膜封装层的透光性，尤其能够增加蓝光波长段的透光性，使薄膜封装层减少了对发光器件的透光损失。

技术领域

本发明实施例涉及OLED封装技术领域，尤其涉及一种OLED面板、OLED面板的制备方法和显示装置。

背景技术

OLED器件中的光材料和电极对水汽和氧气非常敏感，水氧的渗透会大大缩减OLED器件的寿命，为了达到商业化对于OLED器件的使用寿命和稳定性的要求，OLED器件对于封装效果的要求非常高。因此，封装在OLED面板制作中是非常重要的。

传统封装通常采用盖板封装技术，在封装玻璃上涂敷可以紫外固化的框胶、或者涂敷框胶并填充干燥剂，框胶固化后可以为OLED器件提供一个相对密闭的环境，从而隔绝水氧进入。现有技术通常采用薄膜封装技术对OLED器件进行封装，实现柔性封装。

但是现有技术中的薄膜封装结构中的有机层的薄膜颜色偏黄，蓝光透光性较差，由于OLED器件自身存在蓝光的发光效率低的问题，在进行薄膜封装后，经过有机层薄膜的削减，其蓝光的透光性能大大降低。

发明内容

本发明提供一种OLED面板、OLED面板的制备方法和显示装置，以实现OLED器件经薄膜封装后有效减小薄膜封装层对蓝光的削减，提高薄膜封装层的蓝光透光性。

第一方面，本发明实施例提供了一种OLED面板，包括：

基板；

发光器件阵列，位于所述基板上；

薄膜封装层，封装所述发光器件阵列，所述薄膜封装层包括至少一个有机薄膜层和至少一个无机薄膜层；至少一个所述有机薄膜层为含氧氟有机薄膜层。

可选的，所述含氧氟有机薄膜为将氢气、氧气和氟碳气体通过等离子体增强化学气相沉积的方式形成的薄膜。

可选的，所述氟碳气体包括CHF₃、C₃F₈、C₄F₁₀、C₂F₄和C₄F₈中的至少一种。

可选的，所述含氧氟有机薄膜层与所述发光器件阵列之间设置有至少一个所述无机薄膜层。

可选的，所述无机薄膜层包括氧化铝薄膜或氮化硅薄膜。

可选的，所述无机薄膜层的厚度为30nm-200nm；

所述有机薄膜层的厚度为800nm-1600nm。

第二方面，本发明实施例还提供了一种OLED面板的制备方法，该OLED面板的制备方法包括：

提供基板；

在所述基板上形成发光器件阵列；

在所述发光器件阵列上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括至少一个有机薄膜层和至少一个无机薄膜层；至少一个所述有机薄膜层为含氧氟有机薄膜层。

可选的，通过等离子体增强化学气相沉积工艺沉积形成所述含氧氟有机薄膜层；

在等离子体增强化学气相沉积设备内分别通入预设流量的氟碳气体、氢气和氧气；

在射频电源的作用下沉积形成所述含氧氟有机薄膜层。