[发明专利]一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置在审
| 申请号： | 201911224150.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110879466A | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 汪为民;王锦;王强;宁文果;沙华露;冯奇;李加鑫;楚延鹏;高咏;王帅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所;上海汽车集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 低频 角度 mems 扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，其特征在于：包括镜面，可绕一扭转轴扭转；还包括偶数组梳齿驱动器，其中一半梳齿驱动器与另一半梳齿驱动器的位置关于镜面扭转轴对称，分别位于轴的两侧；所述的每一组梳齿驱动器均由固定梳齿和可动梳齿组成，其中可动梳齿与镜面直接相连或通过梁、杆等与镜面相连；所述的梳齿驱动器中位于镜面扭转轴同一侧的一半为垂直梳齿驱动器，另一半为常规梳齿驱动器；扫描镜工作时所有的固定梳齿之间同电势，所有的可动梳齿之间同电势。
2.根据权利要求1所述的一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，其特征在于：扫描镜工作时也可以所有常规梳齿驱动器的固定梳齿都浮空，不接电。
3.根据权利要求1所述的一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，其特征在于：所述的梳齿驱动器可以只有垂直梳齿驱动器那一半，没有另一半常规梳齿驱动器。
4.根据权利要求2所述的一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，其特征在于：所述的工作时浮空的梳齿驱动器也可以是垂直梳齿驱动器，即跟加电的梳齿驱动器一样。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置，其特征在于：所述的垂直梳齿驱动器可以是交错垂直梳齿驱动器，也可以是倾斜垂直梳齿驱动器。
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