[发明专利]弧形边缘截面的PDMS母模、微流控阀和芯片及其制备

权利要求书

1.一种具有弧形边缘截面的PDMS母模的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：

S100、在带有光刻胶的印刷电路板上通过图案化形成弧形边缘截面的凹槽，得到PCB母模；

S200、将PDMS预聚物倒在PCB母模上并聚合，得到具有弧形边缘截面的PDMS母模；

其中，S100中所述图案化过程包括以下步骤：

S110、带有光刻胶的印刷电路板上覆盖光掩模，并进行曝光；

S120、进行显影，图案转移至光刻胶上；

S130、用三氯化铁溶液蚀刻，在印刷电路板中的铜板上形成凹槽；其中的凹槽由于是通过蚀刻形成的，其边缘为弧形，凹槽的横截面为弧形边缘截面；

S140、用丙酮除去光刻胶，得到PCB母模；

S200的步骤具体包括：

S210、将PDMS预聚物倒在PCB母模上，

S220、PCB母模上的PDMS预聚物进行聚合；

S230、将聚合后的PDMS进行剥离，使用泊洛沙姆407处理后，得到具有弧形边缘截面的PDMS母模。

2.根据权利要求1所述的具有弧形边缘截面的PDMS母模的制备方法，其特征在于，所述PDMS预聚物中的基料和固化剂的质量比为5:1。

3.一种具有弧形边缘截面的PDMS母模，其特征在于，通过权利要求1或2所述的具有弧形边缘截面的PDMS母模的制备方法制备得到。

4.一种弧形边缘截面微流控阀的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：

S300、在带有光刻胶的印刷电路板上通过图案化形成弧形边缘截面的凸起，得到PCB控制层母模；

S400、在PCB控制层母模上旋涂PDMS预聚物，聚合后得到具有控制通道的控制层；

S500、使用权利要求3所述的具有弧形边缘截面的PDMS母模制备具有弧形边缘截面通道的流体层；

S600、将所述控制层和流体层对准，并使用平的PDMS层进行密封，得到所述弧形边缘截面微流控阀；

其中，S300中所述图案化过程包括以下步骤：

S310、带有光刻胶的印刷电路板上覆盖光掩模，并进行曝光；

S320、进行显影，图案转移至光刻胶上；

S330、用三氯化铁溶液蚀刻，在印刷电路板中的铜板上形成凸起；其中的凸起由于是通过蚀刻形成的，其边缘为向内凹陷的弧形，凸起的横截面为向内凹陷的弧形边缘截面；

S340、用丙酮除去光刻胶，得到PCB控制层母模。

5.根据权利要求4所述的弧形边缘截面微流控阀的制备方法，其特征在于，所述PDMS预聚物中的基料和固化剂的质量比为20:1。

6.根据权利要求4所述的弧形边缘截面微流控阀的制备方法，其特征在于，S500中所述流体层的制备过程具体包括：将PDMS预聚物倒入权利要求3所述的具有弧形边缘截面的PDMS母模上，固化后剥离得到所述流体层。

7.根据权利要求6所述的弧形边缘截面微流控阀的制备方法，其特征在于，S500中采用的所述PDMS预聚物中的基料和固化剂的比例为5:1。

8.根据权利要求4所述的弧形边缘截面微流控阀的制备方法，其特征在于，S600中所述平的PDMS层为部分固化，密封后进行固化。

9.一种弧形边缘截面微流控阀，其特征在于，通过以上权利要求4-8任一项所述的弧形边缘截面微流控阀的制备方法制备得到。

10.一种包含权利要求9所述的弧形边缘截面微流控阀的微流控芯片。

11.根据权利要求10所述的微流控芯片，其特征在于，所述微流控芯片包括自制控制器，所述自制控制器包括8个电磁阀。