[发明专利]一种铜覆铝的键合插针及其键合装置在审
申请号: | 201911227409.6 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN110828412A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;王红明;吴登峰 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/60 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 周琼 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜覆铝 键合插针 及其 装置 | ||
1.一种铜覆铝的键合插针,其特征在于:包括插针(4),所述插针(4)的右端设有对称分布的凸台(6),所述凸台(6)的厚度小于插针(4)的厚度;
所述插针(4)的左端还包括铜块(18),铜块(18)的底部连接有若干圆柱(19),用于将铜块(18)固定在插针(4)上。
2.一种包含权利要求1所述的铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:包括基板(3),所述基板(3)上连接有自锁组件(5),所述基板(3)通过自锁组件(5)安装有封板(1),所述基板(3)的内部通过封板(1)安装有若干个插针(4);
所述自锁组件(5)包括压合部和锁紧部,所述压合部活动连接在锁紧部上端,所述压合部用于压合并转动锁紧部,所述锁紧部将基板(3)和封板(1)连接并进行自锁。
3.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述锁紧部包括设有第二卡槽(16)的栓杆(10),所述栓杆(10)上套接有弹簧(17),所述栓杆(10)的上端连接有定位条(12),所述第二卡槽(16)内插接有卡块(9),所述弹簧(17)产生的弹力使开设有第二卡槽(16)的栓杆(10)和卡块(9)紧密连接。
4.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述压合部包括活动栓头(14)和弹性块(13),所述弹性块(13)连接在活动栓头(14)的内部,所述活动栓头(14)的内壁设有第一卡槽(15)。
5.根据权利要求3或4所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述定位条(12)活动连接在与其相适配的第一卡槽(15)的内部。
6.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述基板(3)上还设有第二圆孔(11),所述卡块(9)远离第二卡槽(16)的一端固定连接在第二圆孔(11)内。
7.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述基板(3)上还设有若干个放置槽,所述放置槽用于放置插针(4),所述凸台(6)贯穿放置槽,在横向上将插针(4)固定。
8.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述封板(1)的内部连接有若干个压条(2),用于在纵向上将插针(4)固定。
9.根据权利要求2所述的一种铜覆铝键合插针的键合装置,其特征在于:所述基板(3)上还安装有密封条(8),所述封板(1)还开设有密封槽(7),所述密封条(8)和密封槽(7)相匹配,将基板(3)和封板(1)进行密封。
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