[发明专利]有源矩阵式影像感测装置在审
申请号: | 201911228288.7 | 申请日: | 2016-07-25 |
公开(公告)号: | CN110890392A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 吴智濠 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 影像 装置 | ||
一种有源矩阵式影像感测装置包括一影像感测基板、一第一闪烁晶体层以及一第二闪烁晶体层。影像感测基板具有一软性基板,且影像感测基板包含一第一表面及与第一表面相对的一第二表面。第一闪烁晶体层设置于影像感测基板的第一表面上,第二闪烁晶体层设置于影像感测基板的第二表面上。
本申请是2016年7月25日提交的,申请号为201610587058.X、发明名称为“主动矩阵式影像感测装置”的中国发明专利申请的分案申请
技术领域
本发明关于一种影像感测装置,特别关于一种有源矩阵式影像感测装置。
背景技术
传统X光成像技术是利用成像胶片接收X光的曝光而成像,但近年来,由于半导体技术的发展,X光成像技术也进化到利用平板式的数字化影像感测面板来成像,即所谓的数字放射造影(Digital Radiography,DR)技术。
将数字放射造影技术的原理简述如下。当X光进入影像感测装置内时,会先经过一闪烁晶体层(Scintillator),以将X光转变为可见光,再通过感测面板的感光元件(光电二极管)将所感测到的可见光转换成电信号,再从数据线被读出,再经过影像处理后变成一影像。
然而,当X光通过闪烁晶体层而被转换成可见光时,可见光的行进并无方向性,并不会沿着原先X光的行进方向前进而完全被感光元件感测到,这将造成影像感测装置的影像解析能力的下降。因此,如何提升X光影像感测装置的影像解析能力,一直是业界努力追求的目标的一。
另外,由于可挠性基板(Flexible substrate)的材料逐渐成熟,业者也开始思考将有源矩阵平板感测面板的感光元件制作在可挠性基板的可行性。因此,具有较高的影像解析能力,同时具有可挠性的X光影像感测装置,也是业界努力追求的目标的一。
发明内容
本发明的目的为提供一种有源矩阵式影像感测装置,可具有较高的影像空间解析能力。
本发明的目的为提供另一种有源矩阵式影像感测装置,除了具有较高的影像空间解析能力,更具有可挠性而可应用于更多的领域上。
本发明提出一种有源矩阵式影像感测装置,包括一影像感测基板、一第一闪烁晶体层以及一第二闪烁晶体层。影像感测基板具有一软性基板,且影像感测基板包含一第一表面及与第一表面相对的一第二表面。第一闪烁晶体层设置于影像感测基板的第一表面上。第二闪烁晶体层设置于影像感测基板的第二表面上。
在一实施例中,影像感测基板更具有多个影像感测像素,这些影像感测像素配置于软性基板上。
在一实施例中,影像感测像素包含一感光元件及一薄膜晶体管元件,感光元件具有一第一端点电极及一第二端点电极,薄膜晶体管元件具有一第一电极、一第二电极及一栅极,第一电极与一数据线电连接,第二电极与感光元件的第一端点电极电连接,栅极与一扫描线电连接,第二端点电极与一导电层电连接。
在一实施例中,第一端点电极与第二端点电极分别为透明电极。
在一实施例中,有源矩阵式影像感测装置更包括一反射层,反射层设置于第一闪烁晶体层远离第一表面的一侧。
在一实施例中,有源矩阵式影像感测装置更包括一反射层,反射层设置于第二闪烁晶体层远离第二表面的一侧。
承上所述,在本发明的一种有源矩阵式影像感测装置中,通过在闪烁体基板上具有对应于影像感测基板的像素图案的导引件,并在导引件上形成可反射光线的反射层来限制光线的行进路径,再通过将闪烁晶体层设置于反射层与影像感测基板之间。借此,相较于已知技术而言,本发明的有源矩阵式影像感测装置可具有较高的影像空间解析能力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的