[发明专利]一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件及其制备方法

权利要求书

1.一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，氟碳膜覆盖在金属氧化物气敏膜表面形成叠层结构，具体制备步骤为：

步骤1：将金属氧化物纳米颗粒和乙基纤维素/松油醇溶液按照质量比为1：1进行混合，通过球磨机均匀混合，制备成金属氧化物气敏浆料；

步骤2：将金属氧化物气敏浆料涂覆在平面电极上，静置一段时间后干燥，再升温至500-800℃烧结，获得金属氧化物气敏膜；

步骤3：在金属氧化物气敏膜表面原位制备一层氟碳膜，获得氟碳膜/金属氧化物气敏膜叠层器件。

2.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤1中，所述金属氧化物为SnO₂、ZnO、WO₃、In₂O₃。

3.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤1中，所述金属氧化物纳米颗粒的粒径为45-55nm，所述乙基纤维素/松油醇溶液的浓度为3-5wt％。

4.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤1中，球磨机均匀混合的转速为350-400rpm，球磨机均匀混合的时间为3-5h。

5.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤2中，金属氧化物气敏浆料涂覆在平面电极上后静置20-35min，干燥的温度为70-90℃。

6.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤2中，升温的速率为5℃/min，烧结时间为1-4h。

7.根据权利要求1所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，在步骤3中，所述原位制备一层多孔氟碳膜薄膜的方法包括但不限于磁控溅射、蒸镀或溶液旋涂。

8.根据权利要求7所述的一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层器件的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的具体步骤为：首先将溅射腔室抽真空至2*10^-4Pa，再充入Ar气，调节工作压为1.5*10^-2Pa，再进行溅射，通过调节溅射时间控制多孔氟碳膜薄膜的厚度。

9.一种氟碳膜/金属氧化物气敏膜复合叠层气敏器件,其特征在于，由权利要求1-8任一所述的制备方法制成。