[发明专利]一种基于分子流传输的气体微流量传感装置

权利要求书

1.一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：包括差压变送器(1)、气体微流量传感元件(2)、第一阀门(3)、旁通阀门(4)、旁通管路(5)。

所述气体微流量传感元件(2)通过第一阀门(3)与差压变送器(1)相连，旁通管路(5)通过旁通阀门(4)与差压变送器(1)相连。

2.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述差压变送器(1)测量气体微流量传感元件(2)两端的差压。

3.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述旁通管路(5)的作用是当旁通阀门(3)打开时，待测气体能够快速经过旁通管路(5)。

4.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述气体微流量传感元件(2)采用的材料为双通多孔氧化铝，规格为AAO-DP-12，孔径为70nm，孔间距110nm，孔深50-70μm，流导在真空到大气压条件下保持恒定。

5.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述基于分子流传输的气体微流量传感装置在测量气体流量时，可以保证流经其的气体流态处于分子流态。

6.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述基于分子流传输的气体微流量传感装置的量程为差压变送器(1)的量程与气体微流量传感元件流导的乘积。

7.根据权利要求1所述的一种基于分子流传输的气体微流量传感装置，其特征在于：所述基于分子流传输的气体微流量传感装置测得的气体流量为差压变送器的示数与气体微流量传感元件(2)的乘积。