[发明专利]蒸镀控制方法及蒸镀设备

说明书

本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀控制方法，包括真空腔体和位于真空腔体内部的坩埚；可移动挡板，所述可移动挡板在坩埚内部与坩埚上表面平行设置，用于盛放蒸镀材料；气压监测装置，所述气压监测装置与所述真空腔体连接；气压传动装置，所述气压传动装置分别与所述气压监测装置和所述可移动挡板连接，用于控制所述可移动挡板在坩埚内部向上或向下移动。通过在蒸镀设备中增设可移动挡板、气压监测装置和气压传动装置，由气压监测装置和气压传动装置通过无缝精密联动控制，来改变可移动挡板在坩埚内的移动方向和移动距离，以维持蒸汽压强不变，达到蒸镀速率恒定的目的，以避免温度变化带来对蒸镀材料的影响，确保蒸镀膜层光特性不失效。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸镀控制方法及蒸镀设备。

背景技术

真空蒸发镀膜指的是在真空环境中，将蒸镀材料加热形成蒸汽，蒸汽通过掩膜版沉积在基板上，形成薄膜结构。为了提升镀膜效率需要维持蒸镀材料的蒸镀速率恒定，而在蒸发过程中蒸镀材料会逐渐减少，使得坩埚内部空间增大，而坩埚内部的蒸汽压会随着内部空间的增大而减小，进而使得蒸镀速率下降。

在相关技术中，由于蒸镀速率与坩埚的加热温度成正比，因此在蒸发过程中，随着蒸镀材料的减少，通过不断的增加坩埚的加热温度以提高蒸镀速率。

然而，用于镀膜的蒸镀材料属于有机功能材料或发光材料，高温会增加这种材料分解变质的几率，导致蒸镀到基板上的薄膜结构的光电特性较差，甚至失效。

发明内容

本发明的目的是针对上述现有技术的不足提出的一种蒸镀控制方法及蒸镀设备，该目的是通过以下技术方案实现的。

本发明的第一方面提出了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：

真空腔体和位于真空腔体内部的坩埚；

可移动挡板，所述可移动挡板在坩埚内部与坩埚上表面平行设置，用于盛放蒸镀材料；

气压监测装置，所述气压监测装置与所述真空腔体连接；

气压传动装置，所述气压传动装置分别与所述气压监测装置和所述可移动挡板连接，用于控制所述可移动挡板在坩埚内部向上或向下移动。

可选的，所述气压传动装置包括：气源装置、控制装置以及执行机构；所述控制装置分别与所述气源装置、所述执行机构及所述气压监测装置连接；所述执行机构与所述可移动挡板连接。

可选的，所述气源装置包括空压机和原动机；所述原动机，用于产生机械能；所述空压机，用于将所述原动机产生的机械能转换为压力能，并将所述压力能通过所述控制装置传递给所述执行机构；所述执行机构，用于将所述压力能转换为机械能并输出到可移动挡板上，以推动可移动挡板向上或向下移动。

可选的，所述控制装置包括：压力阀、流量阀、方向阀以及控制元件。

可选的，所述蒸镀设备还可包括：补料装置；所述补料装置分别与所述气压传动装置、所述真空腔体连接。

本发明的第二方面提出了一种蒸镀控制方法，所述方法应用于如上述第一方面所述的蒸镀设备，所述方法包括：

气压监测装置检测坩埚内部的蒸汽压强，并将所述蒸汽压强发送至气压传动装置；

所述气压传动装置根据所述蒸汽压强确定可移动挡板的移动距离和移动方向，并控制所述可移动挡板按照所述移动方向移动所述移动距离，以改变坩埚内部的蒸汽压强。

可选的，所述气压传动装置根据所述蒸汽压强确定可移动挡板的移动距离和移动方向，包括：所述气压传动装置中的控制装置依据所述蒸汽压强和预设的维稳压强确定可移动挡板的移动方向；所述控制装置利用所述蒸汽压强确定可移动挡板与坩埚上表面之间需要保持的第一高度，并获取当前可移动挡板与坩埚上表面之间的第二高度，依据所述第一高度与所述第二高度确定可移动挡板的移动距离。