[发明专利]一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法

权利要求书

1.一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：

步骤一：将聚酰亚胺胶带贴在硅基底上，利用二氧化碳激光器在聚酰亚胺胶带上烧灼出叉指状的碳电极，然后将液态的聚二甲硅氧烷(PDMS)浇在被烧灼后的聚酰亚胺胶带上，等待液态的PDMS凝固之后将其与聚酰亚胺胶带分离开，就得到了嵌入有叉指状电极的柔性PDMS；

步骤二：将氧化石墨烯溶液利用电纺的方式均匀喷涂在有叉指状电极的柔性PDMS上，喷涂有氧化石墨烯溶液的碳电极和柔性PDMS共同形成了全碳基柔性湿敏器件；最后用导电银胶从电极两个引脚分别引出两根导线用于后续的驱动和测量；

步骤三：组装具有主动控温功能的露点传感装置；装置包括步骤二所制备的全碳基柔性湿敏器件、半导体制冷器、散热器、四氟乙烯壳体、电路板、PT100温度传感器、导线、以及进风口和出风口；半导体制冷器与湿敏器件相结合，被测气体通过气室，在半导体制冷器的降温下，水汽将不断被吸附在湿敏器件表面直至达到饱和，在湿敏器件表面产生水分凝结会导致电极电容量的变化，通过电容量的变化准确识别和获取露点温度。