[发明专利]一种电子束辐照装置和设备

权利要求书

1.一种电子束辐照装置，其特征在于，所述装置包括：电子束产生单元、电子束控制单元、辐照腔室、二次电子收集器以及信号处理单元，所述电子束产生单元的电子束输出端与所述辐照腔室相对，所述电子束控制单元设置在所述电子束产生单元的电子束输出端与所述辐照腔室之间，所述二次电子收集器设置在所述辐照腔室内，所述信号处理单元与所述二次电子收集器以及所述电子束控制单元电连接；

所述信号处理单元，用于根据预设的样品目标辐照区域调节所述电子束控制单元的方向控制区域的电子束聚焦程度和电子束辐照方向；

所述电子束产生单元，用于产生电子束，并将产生的电子束发射给所述电子束控制单元的方向控制区域；

所述电子束控制单元，用于根据调节的聚焦程度对所述电子束进行聚焦形成电子束，并根据调节的辐照方向对辐照腔室内部样品的目标辐照区域进行辐照；

所述二次电子收集器，用于收集所述电子束与所述样品相互作用产生的二次电子，并将收集的二次电子传输给所述信号处理单元；

所述信号处理单元，还用于根据所述二次电子收集器收集的二次电子生成二次电子图像；并根据所述二次电子图像确定样品的目标辐照区域。

2.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述装置还包括法拉第杯和电流表，所述电子束产生单元包括发射源和电子加速器，所述发射源的电子输出端和所述电子加速器的加速区域相对，所述电子加速器的加速区域和所述辐照腔室相对，所述电子束控制单元设置在所述电子加速器的加速区域和所述辐照腔室之间，所述法拉第杯设置在所述辐照腔室内部，所述电流表与所述法拉第杯电连接；

所述信号处理单元，用于根据电流表测得的法拉第杯的信号大小调节所述电子束产生单元的束流；

所述发射源，用于产生电子，并将产生的电子发射给所述电子加速器的电子加速区域；

所述电子加速器，用于在所述电子加速区域根据加速电压对所述发射源发射的电子进行加速，形成电子束，并将形成的电子束发射给所述电子束控制单元的方向控制区域；

所述电子束控制单元，还用于根据法拉第杯的辐照区域调节的电子束聚焦程度对所述电子束进行聚焦，并根据法拉第杯的辐照区域调节的电子束辐照方向对所述法拉第杯的辐照区域进行辐照；

所述法拉第杯，用于将进入所述法拉第杯内的电子束转换成电流；

所述电流表，用于测量所述法拉第杯转换成的电流的大小。

3.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述发射源包括灯丝，所述灯丝用于根据不同的电流强度产生不同强度的电子束。

4.根据权利要求3所述装置，其特征在于，所述灯丝为钨灯丝。

5.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述电子加速器的加速电压区间为0至100kV。

6.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述装置还包括测试平台，所述测试平台包括第一夹具和第二夹具，所述测试平台设置在所述辐照腔室内；

所述第一夹具，用于固定所述样品；所述第二夹具，用于固定所述法拉第杯；以使所述样品和所述法拉第杯的高度一致。

7.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述辐照腔室还包括外部接口，用于与辐照腔室内的光电器件连接后测试所述样品的光电性能。

8.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述辐照腔室内部为真空状态。

9.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述电子束控制单元包括电磁透镜。

10.一种电子束辐照设备，其特征在于，所述设备包括光电器件以及权利要求1-9中任意一项所述的电子束辐照装置，所述光电器件设置在所述辐照腔室内，所述光电器件用于测试所述样品的电学和光学性能。