[发明专利]一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器

权利要求书

1.一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器，包括电弧抑制电路、电流互感器LEM、ADC采用电路(103)和可编程逻辑器件(113)，可编程逻辑器件(113)的内部电路包括多脉冲使能电路(112)、第一寄存器(105)、第二寄存器(106)、减法器(107)、除法器(108)、斜率比较电路(110)、PWM脉冲形成电路(111)和SPI串口寄存器(109)；

其特征在于：

电弧抑制电路由一个电感L和至少一只二极管D并联组成，脉冲电源的输出高压脉冲形成单元(102)的正向输出端连接到二极管组件的阴极，二极管的阳极连接到等离子体负载(101)的一端；

电流互感器LEM套在电弧抑制电路的电感的一端输出线上，电流互感器LEM的取样信号输出端并接取样电阻，将电感电流转换为隔离后的电压信号；

电流互感器LEM的输出电阻取样信号连接到ADC采样电路(103)的模拟信号输入端，ADC采样电路(103)可适时采样电流互感器LEM的输出电阻取样信号；

ADC采样电路(103)的并行数据输出信号端口Data、采样使能输入信号端口EN1、片选输入信号端口CS和读数据输入信号端口RD分别连接到可编程逻辑器件(113)的I/O端口，使可编程逻辑器件(113)适时控制ADC采用电路(103)对模拟输入信号进行采样和采样数据读取；

可编程逻辑器件(113)输出I/O端口连接到驱动隔离电路(104)的输入端，驱动隔离电路(104)的输出端连接到脉冲电源的输出高压脉冲形成单元(102)的控制输入端，实现对电源输出脉冲的驱动和封锁控制；

可编程逻辑器件(113)的内部电路包括多脉冲使能电路(112)、两个串联的先进先出寄存器(105、106)、减法器(107)、除法器(108)、斜率比较电路(110)、PWM脉冲形成电路(111)、和SPI串口寄存器(109)。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器，其特征在于：所述可编程逻辑器件(113)内部的PWM脉冲形成电路(111)输出脉冲电源的输出高压脉冲形成单元(102)的开关管的驱动信号，该驱动信号的频率范围为20kHz～100kHz，还要输出脉冲电源的输出高压脉冲形成单元(102)的驱动信号的同步信号；该同步信号的脉冲前沿滞后于高压脉冲形成单元的驱动信号前沿500ns～2us，但后沿同步；该同步信号传给可编程逻辑器件(113)的内部的多脉冲使能电路(112)的一输入端，使多脉冲使能电路(112)启动或停止输出多路使能信号；

所述可编程逻辑器件(113)的内部的多脉冲使能电路(112)还包括输出第一、二、三、四、五、六使能输出信号、片选信号CS和读使能信号RD，分别用于使能控制ADC采用电路(103)、第一寄存器(105)、第二寄存器(106)、减法器(107)、除法器(108)和斜率比较电路(110)；

所述可编程逻辑器件(113)的内部的多脉冲使能电路(112)输出第一使能输出信号EN1到ADC采用电路(103)的采样使能输入信号端，第一使能输出信号EN1的频率为1mHz,占空比为50％，以控制ADC采用电路(103)的采样启动和采样周期，第一使能输出信号EN1的下降沿启动ADC采用电路(103)的采样保持功能；

所述可编程逻辑器件(113)的内部的多脉冲使能电路(112)输出的片选信号CS和读使能信号RD分别传输到ADC采用电路(103)片选输入端CS和读使能输入端RD，片选信号CS和读使能信号RD的下降沿滞后于第一使能输出信号的下降沿50ns。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器，其特征在于：所述第一寄存器(105)的并行数据输入端连接到ADC采用电路(103)的采样数据并行输出端，第一寄存器(105)的并行数据输出端连接到第二寄存器(106)的并行数据输入端。