[发明专利]一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置

说明书

一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置，另一侧的位置处设有收卷装置，所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架，真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架，所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，纤维丝线有效镀膜的行程增加，使得纤维丝线的表面得到充分镀膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，也保证了镀膜的效率。

技术领域

本发明涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置。

背景技术

纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。

在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，就很难保证纤维表面能够全面均匀地镀膜，因此，如何保证镀膜的全面性与均匀性，成为本发明亟待解决的技术问题。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种以实现提高镀膜全面性与均匀性的磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置。

本发明技术方案如下:

一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，其特征在于，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置，另一侧的位置处设有收卷装置，所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架，真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架，所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。

所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述放卷装置包括电机、支撑座、小齿轮、大齿轮、传动轴、收丝卷筒及支撑座，所述小齿轮设置在电机上，且小齿轮与大齿轮啮合设置，所述传动轴穿设在支撑座上，且其一端与大齿轮相连，另一端与卷筒相连。

所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述放卷装置包括支撑座、传动轴、放丝卷筒及支撑座，所述传动轴穿设在支撑座上，其一端与卷筒相连。

所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述左丝架包括支撑架、小滑轮Ⅱ、大滑轮Ⅷ、大滑轮Ⅵ、大滑轮Ⅱ、大滑轮Ⅳ及出线通孔，所述出线通孔设置在支撑架上，所述大滑轮Ⅷ与大滑轮Ⅳ设置在出线通孔上下方位置处，所述大滑轮Ⅵ与大滑轮Ⅱ在出线通孔前后方位置处，所述小滑轮Ⅱ位于出线通孔上方位置处。

所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述右丝架包括支撑架、大滑轮Ⅶ、大滑轮Ⅴ、大滑轮Ⅲ、大滑轮Ⅴ、大滑轮Ⅰ、小滑轮Ⅰ及进线通孔，所述进线通孔设置在支撑架上，所述大滑轮Ⅶ与大滑轮Ⅲ设置在进线通孔上下方位置处，所述大滑轮Ⅴ与大滑轮Ⅰ设置在进线通孔前后方位置处，所述小滑轮Ⅰ设置在进线通孔正前方位置处。

本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，纤维丝线有效镀膜的行程增加，使得纤维丝线的表面得到充分镀膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，也保证了镀膜的效率，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

附图说明