[发明专利]一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法有效
申请号: | 201911237500.6 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN111006582B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 方亮;况银丽;程欣;彭翔;张辉;刘恩海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 莫尔 条纹 干涉 相移 灵敏度 增强 方法 | ||
1.一种基于莫尔条纹的干涉相移灵敏度增强方法,其特征在于:该方法包括:空间调制型干涉仪形成的干涉条纹光场(1)经偏振片(2)后入射至普通分光棱镜(3),其中一束光被普通分光棱镜(3)反射后,经第一平面反射镜(4)反射后沿原光路返回,再次经过普通分光棱镜(3)后,透过偏振分光棱镜(7)入射至阵列探测器(8)上,形成一组干涉条纹分布;另一束光从普通分光棱镜(3)透射后,分别经第二平面反射镜(5)和第三平面反射镜(6)反射后入射至偏振分光棱镜(7),经偏振分光棱镜(7)反射后入射至阵列探测器(8)上,形成另一组条纹取向相反的干涉条纹分布,调节第三平面反射镜(6),使阵列探测器(8)上的两组干涉条纹之间存在夹角,形成莫尔条纹,当干涉条纹发生相移时,莫尔条纹将发生明显的位移;
所述空间调制型干涉仪输出干涉条纹光场(1)为空间分布的一维周期条纹;
所述偏振片(2),用于使干涉条纹光场(1)起偏,且偏振方向与竖直方向成45°角,保证p偏振分量与s偏振分量光强相等;
所述普通分光棱镜(3),用于对干涉条纹光场进行分光,分光比为1:1,无偏振选择特性;
所述第二平面反射镜(5)和第三平面反射镜(6)组合后,用于对普通分光棱镜(3)透射光路的干涉条纹光场进行反射,并使这一组干涉条纹光场的取向发生倒转;
所述偏振分光棱镜(7),有偏振选择特性,p偏振与s偏振的分光比例为1:1,用于对第一平面反射镜(4)和第三平面反射镜(6)反射的两组干涉条纹光场进行偏振选择,使阵列探测器(8)上接收的两组干涉条纹的偏振态相互垂直,相互之间不发生干涉,而是形成莫尔条纹;
沿光轴旋转第三平面反射镜(6)可以微调干涉条纹光场的取向,使探测器上两组干涉条纹的取向夹角在160°~170°范围;
当两组干涉条纹取向夹角为θ,干涉条纹的移动量为a时,则形成莫尔条纹的移动量为
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