[发明专利]一种晶圆平坦化设备有效
| 申请号： | 201911240572.6 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110883626B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王春宏 | 申请（专利权）人： | 南京蔚蓝新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/20 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 徐云军 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平坦 设备 | ||
1.一种晶圆平坦化设备，其结构包括：外壳体(1)、转盘(2)、打磨盘(3)、盲区打磨机构(4)，其特征在于：
所述外壳体(1)底部连接转盘(2)，转盘(2)底端面位置设有打磨盘(3)，盲区打磨机构(4)位于转盘(2)之间且处于外壳体(1)下方中心点位置，所述外壳体(1)内设有驱动器(6)并与其相连；
所述转盘(2)由驱动轴(7)、联动轴(8)组成，所述驱动轴(7)与联动轴(8)相互联接且同步运转，所述盲区打磨机构(4)由轴芯柱(10)、嵌合齿块(11)、减震簧管(12)、导振装置(13)、压平盘(14)组成，所述轴芯柱(10)中段侧边位置设有嵌合齿块(11)，嵌合齿块(11)下方设有减震簧管(12)并且与轴芯柱(10)相连，导振装置(13)位于轴芯柱(10)中端位置同时底部连接压平盘(14)；
所述导振装置(13)由传动臂(16)、限位柱(17)、加压曲轴(18)组成，所述传动臂(16)与限位柱(17)相连，加压曲轴(18)位于传动臂(16)底部两侧位置并且处于限位柱(17)下方位置与其对应；
所述压平盘(14)由菱形盘体(20)、滑轨(21)、磨切块(22)、冲压座(23)组成，所述菱形盘体(20)底面侧边围绕其形状等比例设有滑轨(21)，磨切块(22)活动连接滑轨(21)，冲压座(23)则位于菱形盘体(20)中心点位置并与其相连。
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