[发明专利]增加用于静电夹盘的气体效率有效
| 申请号： | 201911241081.3 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110911336B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | V·D·帕科 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增加 用于 静电 气体 效率 | ||
1.一种用于增加用于静电夹盘的背侧气体的效率的方法，所述方法包括以下步骤：
通过入口接收所述气体；
将所述气体的第一部分供应至所述静电夹盘；
通过压缩器使所述气体的第二部分再循环；
确定用于所述静电夹盘处的所述气体的压力设定点；
获得用于所述气体的校准曲线；
基于所述校准曲线估计对于所述压力设定点的所述气体的所述第一部分的流率；以及
基于所估计的流率控制所述气体的所述第一部分。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体是氦气、氩气、氖气、氪气、氙气、氮气或上述气体的任何组合。
3.一种用于增加用于静电夹盘的背侧气体的效率的方法，所述方法包括以下步骤：
通过入口接收所述气体；
将所述气体的第一部分供应至所述静电夹盘；
通过压缩器使所述气体的第二部分再循环；以及
在多个压力值处测量所述气体的流以生成校准曲线。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述气体是氦气、氩气、氖气、氪气、氙气、氮气或上述气体的任何组合。
5.一种用于增加用于静电夹盘的背侧气体的效率的方法，所述方法包括以下步骤：
通过入口接收所述气体；
将所述气体的第一部分供应至所述静电夹盘；
通过压缩器使所述气体的第二部分再循环；
判定是否通过所述入口供应所述气体；以及
如果所述气体供应至所述入口，则将触发信号发送至所述压缩器。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述气体是氦气、氩气、氖气、氪气、氙气、氮气或上述气体的任何组合。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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