[发明专利]一种掩膜板及显示面板的制作方法在审
申请号: | 201911243118.6 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN111077724A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 罗盼 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G03F1/76 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 显示 面板 制作方法 | ||
本发明提供一种掩膜板及显示面板的制作方法,该掩膜板包括:主体部;至少一第一边缘部;所述第一边缘部和所述主体部的组合轮廓形状为第一预设形状;至少一第二边缘部,所述第二边缘部和所述主体部的组合轮廓形状为第二预设形状。本发明的掩膜板及显示面板的制作方法,能够提高生产效率以及降低生产成本。
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜板及显示面板的制作方法。
【背景技术】
非矩形显示面板,比如R角(也即圆角矩形)显示面板的四个角的设计与普通显示面板略有不同。具体来说,四个角上像素和驱动的设计都与普通显示面板不同。
液晶显示器的制造涉及多道膜层的曝光和刻蚀,这个过程中的关键就是曝光用的掩膜板。通过掩膜板就可以将目标图形转印到玻璃基板上。因此在制作非矩形显示面板的时候,往往需要制备一套新的掩膜板(光罩)来对相应的膜层进行图案化处理。由于需要重新制备掩膜板,因此增加了生产周期,从而降低了生产效率,此外还增加了生产成本。
因此,有必要提供一种掩膜板及显示面板的制作方法,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种掩膜板及显示面板的制作方法,能够提高生产效率以及降低生产成本。
为解决上述技术问题,本发明提供一种掩膜板,包括:
主体部;
至少一第一边缘部;所述第一边缘部和所述主体部的组合轮廓形状为第一预设形状;
至少一第二边缘部,所述第二边缘部和所述主体部的组合轮廓形状为第二预设形状。
本发明还提供一种显示面板的制作方法,其包括:
当制作第一预设形状的显示面板时,在掩膜板存储装置中选取所述主体部和至少一所述第一边缘部;
将所述主体部和所述第一边缘部放置在衬底基板上,并对所述主体部和所述第一边缘部进行对位,得到第一掩膜体;
采用所述第一掩膜体对所述衬底基板进行图案化处理。
本发明的掩膜板及显示面板的制作方法,包括主体部;至少一第一边缘部;所述主体部和所述第一边缘部的组合轮廓形状为第一预设形状;至少一第二边缘部,所述主体部和所述第二边缘部的组合轮廓形状为第二预设形状,由于掩膜板设由本体部和多个边缘部组成,因此可以根据待制作的面板形状进行自由组合,从而避免单独制作掩膜板,提高了生产效率,降低了生产成本。
【附图说明】
图1为本发明掩膜板的结构示意图;
图2为本发明掩膜板的俯视图;
图3为本发明第一预设形状的显示面板对应的掩膜体的俯视图;
图4为本发明第二预设形状的显示面板对应的第一种掩膜体的俯视图;
图5为本发明第二预设形状的显示面板对应的第二种掩膜体的俯视图;
图6为本发明图案化处理过程的第一步的结构示意图;
图7为本发明图案化处理过程的第二步的结构示意图;
图8为本发明图案化处理过程的第三步的结构示意图;
图9为本发明图案化处理过程的第四步的结构示意图。
【具体实施方式】
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司,未经TCL华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911243118.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备