[发明专利]数字X射线检测器在审
申请号: | 201911243834.4 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN111381272A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 金镇必;李汉锡;边尚模 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | G01T1/202 | 分类号: | G01T1/202;H01L31/115 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;王鹏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 数字 射线 检测器 | ||
1.一种数字X射线检测器,包括:
基板;
设置在所述基板的底面上的金属层;
设置在所述基板的顶面上的元件阵列,其中所述元件阵列包括薄膜晶体管和与所述薄膜晶体管连接的PIN二极管;
设置在所述基板的顶面上并电连接至所述元件阵列的地电极;
设置在所述元件阵列上的闪烁体层;以及
设置在所述闪烁体层上的反射板,
其中所述反射板电连接至所述地电极,以及
其中所述地电极电连接至所述金属层。
2.根据权利要求1所述的数字X射线检测器,其中所述基板包括玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的数字X射线检测器,其中所述数字X射线检测器还包括设置在所述基板的顶面上的静电抑制电路,以及
其中所述元件阵列和所述地电极经由所述静电抑制电路相互电连接。
4.根据权利要求1所述的数字X射线检测器,其中所述地电极和所述金属层经由导电层相互电连接。
5.根据权利要求4所述的数字X射线检测器,其中所述导电层由银膏或银膜形成。
6.一种数字X射线检测器,包括:
基板;
所述基板上的金属层;
所述金属层上的多缓冲层;
设置在所述多缓冲层上的元件阵列,所述元件阵列包括薄膜晶体管和与所述薄膜晶体管连接的PIN二极管;
设置在所述多缓冲层上的地电极,所述地电极电连接至所述元件阵列;
所述元件阵列上的闪烁体层;以及
所述闪烁体层上的反射板,
其中所述反射板电连接至所述地电极,以及
其中所述地电极电连接至所述金属层。
7.根据权利要求6所述的数字X射线检测器,其中所述基板包括聚酰亚胺基板。
8.根据权利要求6所述的数字X射线检测器,其中所述多缓冲层包括硅氧化物层和硅氮化物层的竖直交替堆叠。
9.根据权利要求6所述的数字X射线检测器,其中所述数字X射线检测器还包括设置在所述多缓冲层上的静电抑制电路,以及
其中所述元件阵列和所述地电极经由所述静电抑制电路相互电连接。
10.根据权利要求6所述的数字X射线检测器,其中所述地电极和所述金属层经由导电层相互电连接。
11.根据权利要求10所述的数字X射线检测器,其中所述导电层由银膏或银膜形成。
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