[发明专利]一种全反射式同轴LIBS激发收集系统及其收集方法在审
| 申请号： | 201911243916.9 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110824679A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李强;杨蕊竹;叶小球;陈长安;吴吉良;饶咏初;王雪峰;冯春蓉;严俊 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G01N21/71;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人： | 贾林 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全反射 同轴 libs 激发 收集 系统 及其 方法 | ||
1.一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于：包括全反射分束单元、全反射聚焦单元和光纤耦合器；
所述全反射分束单元与所述全反射聚焦单元同轴设置且入射的激光通过所述全反射分数单元射入所述全反射聚焦单元；
所述光纤耦合器位于所述全反射分束单元的旁路，所述全反向聚焦单元收集到的反向信号光通过所述全反射分光单元聚焦于光纤耦合器的端面。
2.根据权利要求1所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述全反射分束单元包括轴向中心设置有通孔的离轴抛物镜，入射激光通过离轴抛物镜的通孔入射。
3.根据权利要求2所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，入射激光的光束直径与通孔直径一致。
4.根据权利要求2所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述离轴抛物镜的反射镜面镀有紫外-可见-近红外全谱段反射膜。
5.根据权利要求1所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述全反射分束单元可沿垂直光轴方向横向、纵向移动。
6.根据权利要求1~5任一项所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述全反射聚焦单元包括与所述离轴抛物镜的通孔同轴的主镜和副镜。
7.根据权利要求6所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述主镜为中心穿孔的非球凹面反射镜；所述副镜为非球凸面反射镜；所述主镜的中心穿孔与所述通孔同轴设置；所述全反射分束单元的出射激光通过所述非球凹面反射镜的中心穿孔入射所述全反射聚焦单元。
8.根据权利要求7所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于， 所述非球凸面反射镜的中心穿孔直径大于所述离轴抛物镜的通孔直径。
9.根据权利要求书7所述的一种全反射式同轴LIBS激发收集系统，其特征在于，所述非球凹面反射镜可沿光轴方向移动。
10.一种全反射式同轴LIBS激发收集方法，其特征在于，采用权利要求1~9任一系统中的全反射光路收集被测物表面因入射激光激发而产生的反向信号光。
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