[发明专利]一种月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201911247533.9 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN110904459A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 扈俊颖;张晨峰;钟显康;张智;曾德智;侯铎;施太和 | 申请（专利权）人： | 西南石油大学 |
| 主分类号： | C23F11/00 | 分类号： | C23F11/00 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李亚男 |
| 地址： | 610500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 月桂 酸四环 咪唑 啉缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，其分子结构式如下：
2.权利要求1所述的月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，通过将癸二酸和四乙烯五胺在二甲苯存在的条件下加热反应，然后向反应体系中加入月桂酸并升温进行酰胺化反应，待月桂酸参与的酰胺化反应结束后再次升温进行成环化反应制得月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂。
3.根据权利要求2所述的月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将0.05～0.1mol癸二酸溶于二甲苯中，然后升温至80～100℃，再加入0.12～0.2mol四乙烯五胺，再升温至120～140℃反应2.5～4h；
(2)将步骤(1)得到的产物冷却至80～100℃，然后加入0.8～1.2mol月桂酸，再升温至140～160℃反应2.5～3h；
(3)将步骤(2)得到的产物升温至220～240℃反应3～4h，制得月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂。
4.根据权利要求3所述的月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述二甲苯的加量为50～70ml。
5.根据权利要求3所述的月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，加入四乙烯五胺后，升温至130～140℃。
6.根据权利要求3～5任一项所述的月桂酸四环咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，将步骤(2)得到的产物升温至230～240℃。
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