[发明专利]一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法在审
| 申请号： | 201911249998.8 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN110877158A | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 周宏志;梁银生 | 申请（专利权）人： | 苏州中瑞智创三维科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
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| 地址： | 215223 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 可变 光斑 扫描 加工 三维 激光 刻蚀 方法 | ||
1.一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法，其特征在于，其包括如下步骤：
1）将待加工零件分成若干个待加工位置；
2）将每所述待加工位置的待三维激光刻蚀线路L依据线宽S分为第一线宽S1和第二线宽S2，所述第一线宽S1采用激光扫描加工的最小光斑直径Dmin扫描，所述第二线宽S2采用激光扫描加工的最大光斑直径Dmax扫描，且S1＜S2，Dmin＜Dmax，得到成型的加工零件。
2.根据权利要求1所述的一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法，其特征在于，所述待三维激光刻蚀线路的扫描加工顺序为从第一线宽S1到第二线宽S2，或者第二线宽S2到第一线宽S1，且所述第一线宽S1是线宽等于或略大于最小光斑直径Dmin的线路，所述第二线宽S2是线宽远大于最小光斑直径Dmin的线路。
3.根据权利要求2所述的一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法，其特征在于，所述第一线宽S1依照下列关系进行取值S1≥XDmin，所述第二线宽S2依照下列关系进行取值S2＞XDmin，其中X为正整数。
4.根据权利要求1所述的一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法，其特征在于，所述第一线宽S1、第二线宽S2的扫描方式包括但不限于平行扫描填充方式。
5.根据权利要求1所述的一种采用可变光斑扫描加工的三维激光刻蚀方法，其特征在于，所述第一线宽S1、第二线宽S2的轮廓采用最小光斑直径激光扫描加工方式。
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