[发明专利]一种电阻检测装置

说明书

本发明涉及液晶面板制造检测设备技术领域，尤其涉及一种电阻检测装置。本发明提供的电阻检测装置，包括固定架、探测头、第一驱动机构和第二驱动机构，探测头被配置为与待测物的距离为S₁。第一驱动机构的输出端与探测头相连接，第一驱动机构能够驱动探测头沿靠近待测物的方向最大移动距离为S₂，S₂＜S₁，第一驱动机构用于粗调，以提高调节效率。第二驱动机构的输出端与探测头相连接，第二驱动机构能够驱动探测头沿靠近待测物的方向最小移动距离S₃，S₃≥S₁‑S₂，第二驱动机构用于精调，以小幅度调节探测头的位置，以使探测头微量运动，避免探测头作用在待测物上的力过大损坏待测物。

技术领域

本发明涉及液晶面板制造检测设备技术领域，尤其涉及一种电阻检测装置。

背景技术

AMOLED面板是指以AMOLED材料为主的屏幕，AMOLED(Active Matrix/OrganicLight Emitting Diode)是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板，AMOLED面板具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。在AMOLED面板镀膜后，通常需要检测膜厚是否正常，以防止镀膜质量不合格的AMOLED面板流入下一道工序。

目前，采用电阻检测装置对AMOLED面板的膜厚进行测量，其原理是将探针抵压在AMOLED面板上，然后接通电源，根据电流的变化，获得AMOLED面板的阻值，然后根据镀膜阻值推算镀膜的厚度。现有技术中的电阻检测装置通常利用气缸直接驱动探针使探针抵压在AMOLED面板上，由于气缸的推动行程以及推动压力难以精确控制，通过气缸直接驱动探针运动，容易使探针作用在AMOLED面板上的压力过大，从而造成AMOLED面板损坏。

因此，亟待需要一种新型的探针测量结构以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电阻检测装置，以解决现有技术中存在的探针作用在面板上的压力过大，容易损坏面板的问题。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种电阻检测装置，包括固定架和探测头，所述探测头被配置为与待测物的距离为S₁，所述电阻检测装置还包括：

第一驱动机构，设置在所述固定架上，所述第一驱动机构的输出端与所述探测头相连接，所述第一驱动机构能够驱动所述探测头沿靠近所述待测物的方向最大移动距离S₂，S₂＜S₁，所述第一驱动机构用于粗调；

第二驱动机构，设置在所述固定架上，所述第二驱动机构的输出端与所述探测头相连接，所述第二驱动机构能够驱动所述探测头沿靠近所述待测物的方向最小移动距离为S₃，S₃≥S₁-S₂，，所述第二驱动机构用于精调。

作为优选方案，所述第二驱动机构包括安装件、传动件和增重件，所述安装件被配置为固定安装所述探测头，所述传动件的一端与所述安装件固定连接，所述增重件能够放置在所述传动件的另一端上，以使所述传动件在所述增重件的重力作用下带动所述安装件沿靠近所述待测物的方向移动。

作为优选方案，所述第二驱动机构还包括托盘，所述托盘与所述传动件的另一端固定连接，所述增重件能够放置在所述托盘上。

作为优选方案，所述第一驱动机构包括驱动器、连杆组件和转接支架，所述驱动器固定设置在所述固定架上，所述转接支架与所述托盘上滑动连接，所述连杆组件可转动地设置在所述固定架上，其一端与所述驱动器的输出端铰接，其另一端与所述转接支架铰接，所述驱动器能够驱动所述连杆组件的一端向上运动，以使所述连杆组件的另一端带动所述转接支架向下运动。