[发明专利]一种TMAH系各向异性硅蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201911250769.8 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN111440613B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 胡涛;邢攸美;高立江;王小眉;李玉兴;王小栋;尹云舰;方伟华;施珂 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311228 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tmah 各向异性 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
1.一种TMAH系各向异性硅蚀刻液，其特征在于，包括18～25%重量份的电子级四甲基氢氧化铵，8～10%重量份的电子级四乙基氢氧化铵，1.3～2.8%重量份的添加剂，0.01～0.2%重量份的表面活性剂和剩余组分的纯水，上述各组分重量份总和为100%重量份，其中所述添加剂包括1～2%重量份的挥发剂和0.3～0.8%的催化剂，所述催化剂包括0.1～0.3%重量份的调整蚀刻速度的催化剂，0.2～0.5%重量份的改善硅表面平整度的催化剂；其中，所述调整蚀刻速度的催化剂为吡嗪和哌嗪中的至少一种，所述改善硅表面平整度的催化剂为过硫酸铵；所述挥发剂为异丙醇。
2.根据权利要求1所述的TMAH系各向异性硅蚀刻液，其特征在于，所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚非离子表面活性剂，其分子式为R-O-(CH2CH2O)nH，所述脂肪醇聚氧乙烯醚非离子表面活性剂的R=C12，n=9。
3.一种如权利要求1所述的TMAH系各向异性硅蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）按比例在混配釜中加入电子级四甲基氢氧化铵；
（2）在不断搅拌的条件下，按比例加入电子级四乙基氢氧化铵；
（3）在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂、表面活性剂和余量水，并循环3h以上；
（4）将混合液体采用过滤器进行过滤后得到TMAH系各向异性硅蚀刻液。
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