[发明专利]微型集成式真空发生器与发生方法以及微型真空发生组件

说明书

本发明属于真空元器件技术领域，具体涉及一种可模块化组装和使用的微型集成式真空发生器、发生方法以及微型真空发生组件。该真空发生器包括进气端、出气端、真空端和真空发生组件；真空发生组件包括外壳和配合于外壳的内腔内的真空发生机构，真空发生机构包括喷管部和混流部；外壳包括隔断部，混流部包括密封部，喷管部与隔断部将内腔分隔为三腔室，真空发生组件还包括复位件；供气口未连接气源时，复位件作用于真空发生机构与外壳之间以隔离第二、三腔室；供气口连接气源后，密封部与隔断部分离以使第二、三腔室相连通。本发明的真空发生器结构紧凑、反应快速，对于用气量小的使用场景具有极佳的实用效果，通气即能工作，断气能真空保持。

技术领域

本发明属于真空元器件技术领域，具体涉及一种可模块化组装和使用的微型集成式真空 发生器、发生方法以及微型真空发生组件。

背景技术

真空发生器就利用正压气源产生负压的一种新型、高效、清洁、经济、小型的真空元器 件，其可以使得在有压缩空气的地方或在一个气动系统中同时需要正负压的地方获得负压变 得十分容易和方便。真空发生器广泛应用在工业自动化中机械、电子、包装、印刷、塑料及 机器人等诸多领域。

然而，现有的真空发生器结构相对比较简单，主要是为实现最基本的真空发生功能，在 吸附等使用场景下，大多需要气源的持续输入；并且，对于真空端的真空度也难以进行有效 控制。

此外，在一些特定场景下，吸放所需抽排的气量是非常小，但是整体吸放的变换频率是 相对较高的；在此情况下，现有真空发生器的破空时间成为制约其工作频率有局限因素。

因此，有必要开发一种特别适用于抽排气量小、工作频率高，且最佳还具有可调节吸力 的微型真空发生器。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题的至少一者，提供一种真空吸力任意可调、能保持设定 真空吸力、抽排气量小、工作变换频率高，且集成度高有利于安装和联合使用的真空发生器 与发生方法以及微型真空发生组件。

作为本发明的第一方面，提供了一种微型集成式真空发生器，其包括进气端、出气端、 真空端以及真空发生组件；所述真空发生组件包括供气口、排气口和真空口，进气端连接至 供气口，出气端连接至排气口而真空端则连接至真空口。

所述真空发生组件包括外壳和真空发生机构，外壳内设有内腔，真空发生机构配合于内 腔内，真空发生机构包括喷管部和混流部；喷管部包括喷管，混流部包括扩散部和混流管， 喷管配合于扩散部的扩散腔内，混流管一端连通于扩散腔，另一端连通至排气口。

所述外壳还包括隔断部，喷管部设置于内腔内，其外壁与内腔密封地配合，喷管部与隔 断部将内腔分隔为第一腔室、第二腔室和第三腔室；第一腔室连通至供气口，第三腔室连通 至真空口。所述混流部还包括密封部，真空发生组件还包括复位件，复位件优等为弹簧。

供气口未连接气源时，复位件作用于真空发生机构与外壳之间以使真空发生机构的密封 部配合于隔断部以隔离第二腔室和第三腔室；供气口连接气源后，第一腔室气压增大以对喷 管部产生推力，推动真空发生机构整体位移以使密封部与隔断部分离。

作为优选，所述真空发生器还包括第一电磁阀以及气路组件，气路组件包括第一气路、 第二气路、第三气路和第四气路。

进气端经第一气路、第一电磁阀和第二气路连接至真空发生组件的供气口，第一电磁阀 控制该气路的开闭；真空发生组件的排气口经第三气路连接至出气端，真空端经第四气路连 接至真空发生组件的真空口。

进一步地，所述真空发生器还包括第二电磁阀，气路组件还包括第五气路、第六气路； 进气端经第五气路、第二电磁阀和第六气路连接至真空端，第二电磁阀控制该气路的开闭。

作为优选，所述真空发生器还包括气压计，其连接至真空端。