[发明专利]一种控制微镜偏转的方法及装置有效
申请号: | 201911252569.6 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN113031248B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 马宏 | 申请(专利权)人: | 觉芯电子(无锡)有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 控制 偏转 方法 装置 | ||
1.一种控制微镜偏转的方法,其特征在于,包括:
获取温度反馈信息;
响应于外部控制电路产生的控制信号,根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号,以使微镜芯片保持标准工作下的偏转角度;
所述根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号,包括:当微镜芯片的当前温度处于第一温度范围时,根据电压温度对应表生成交流驱动信号和直流电平信号,基于所述交流驱动信号和所述直流电平信号进行信号叠加以获得叠加信号;通过所述叠加信号驱动所述微镜芯片;所述第一温度范围指允许所述微镜芯片工作的标准工作温度至最高温度;当所述微镜芯片的当前温度处于第二温度范围时,根据所述电压温度对应表生成所述交流驱动信号;所述第二温度范围指允许所述微镜芯片工作的最低温度至标准工作温度;当所述微镜芯片的当前温度处于第三温度范围时,不产生驱动信号;所述第三温度范围指低于所述最低温度或者高于所述最高温度;
其中,所述电压温度对应表用于存储芯片的额定驱动频率,以及不同温度下所述微镜芯片的驱动信号组成与电压幅值;所述驱动信号用于驱动所述微镜芯片运动。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取温度反馈信息,包括:
实时测量所述微镜芯片表面或四周的温度;
将所述微镜芯片的当前温度与预设温度进行比较,生成温度比较结果;
其中,所述预设温度包括允许所述微镜芯片工作的最低温度、最高温度和标准工作温度;所述温度反馈信息包括所述温度比较结果。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号之前,还包括:
对所述微镜芯片进行标定,生成所述电压温度对应表。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述交流驱动信号包括方波信号和正弦信号。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
当所述微镜芯片的当前温度处于所述第二温度范围时,所述交流驱动信号的幅值电压随温度变化而变化;
当所述微镜芯片的当前温度处于所述第一温度范围时,所述交流驱动信号的电压幅值不变,所述直流电平信号的电压幅值随温度变化而变化;或,所述交流驱动信号和所述直流电平信号的电压幅值分别随温度变化而变化。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号,包括:
当所述微镜芯片的当前温度处于所述第一温度范围时,根据所述电压温度对应表生成第一交流驱动信号、直流电平信号和第三交流驱动信号;
基于所述第一交流驱动信号和所述直流电平信号进行信号叠加以获得叠加信号,或,基于所述第三交流驱动信号和所述直流电平信号进行信号叠加以获得叠加信号;
其中,所述第一交流驱动信号和所述第三交流驱动信号的幅值电压极性相反、频率相同。
7.一种控制微镜偏转的装置,其特征在于,包括:
微镜装置,所述微镜装置包括微镜芯片和温度探测模块,所述温度探测模块用于获取温度反馈信息;
驱动信号发生模块,用于响应外部控制电路产生的控制信号,根据所述温度反馈信息与预先标定的电压温度对应表生成驱动信号,以使所述微镜芯片保持标准工作下的偏转角度;
所述驱动信号发生模块,还用于当微镜芯片的当前温度处于第一温度范围时,根据电压温度对应表生成交流驱动信号和直流电平信号,基于所述交流驱动信号和所述直流电平信号进行信号叠加以获得叠加信号;通过所述叠加信号驱动所述微镜芯片;所述第一温度范围指允许所述微镜芯片工作的标准工作温度至最高温度;当所述微镜芯片的当前温度处于第二温度范围时,根据所述电压温度对应表生成所述交流驱动信号;所述第二温度范围指允许所述微镜芯片工作的最低温度至标准工作温度;当所述微镜芯片的当前温度处于第三温度范围时,不产生驱动信号;所述第三温度范围指低于所述最低温度或者高于所述最高温度;
其中,所述电压温度对应表用于存储芯片的额定驱动频率,以及不同温度下所述微镜芯片的驱动信号组成与电压幅值;所述驱动信号用于驱动所述微镜芯片运动。
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