[发明专利]搭载压电悬臂梁的可调节式微通道混合器

权利要求书

1.一种搭载压电悬臂梁的可调节式微通道混合器，其特征在于：

包括微通道混合器基板（1）和微通道混合器盖板（2）；

所述的微通道混合器基板（1）上设有进样口A（6）及其输入流道A（8）、进样口B（7）及其输入流道B（9）、混合流道（10）及其末端的出样口（11）；

所述的进样口A（6）、进样口B（7）、出样口（11）贯穿微通道混合器盖板（2）便于进样或者取样；

所述的微通道混合器基板（1）、微通道混合器盖板（2）连接后形成完整的微通道混合器单元结构；

所述的输入流道A（8）、输入流道B（9）汇合后连接混合流道（10），在输入流道A（8）、输入流道B（9）的汇合口设有压电悬臂梁，该压电悬臂梁包括激振片（4）、压电片（3），激振片（4）长度大于压电片（3）长度，压电片（3）贴合固定于激振片（4）上，在压电效应下，激振片（4）的自由端带动所述汇合口处的流体作旋转运动，在混合通道（10）内形成纵向涡流态，实现混合强化。

2.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的微通道混合器基板（1）上设有安装卡槽（5），用于安装所述的压电悬臂梁。

3.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：通过改变施加在所述压电悬臂梁两端的电压值实现压电悬臂梁振动幅度的实时调节。

4.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的激振片（4）与微通道上下的间隙高度控制在5%至20%的微通道高度之间。

5.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的微通道的宽度不小于5倍的激振片厚度，以降低安装激振片（4）产生的附加摩擦阻力在总阻力中的占比。

6.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的进样口A（6）及其输入流道A（8）、进样口B（7）及其输入流道B（9）、混合流道（10）及其末端的出样口（11）采用湿法刻蚀、干法刻蚀或者PDMS工艺加工得到。

7.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的微通道混合器基板（1）和微通道混合器盖板（2）之间采用直接键合的方式实现密封连接。

8.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：当待混合的试剂数量大于2时，可相应增加微通道混合器的进样口和输入流道的数量。

9.如权利要求1所述的微通道混合器，其特征在于：所述的微通道混合器单元结构可进行多级级联。