[发明专利]磁场检测装置和磁场检测方法有效
申请号: | 201911256942.5 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111381201B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 清野浩 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁场 检测 装置 方法 | ||
1.一种磁场检测装置,具备:
磁检测元件,包括具有第一方向的第一磁化的固定层和具有在与所述第一方向正交的第二方向上稳定化的第二磁化的自由层,且具有沿着所述第一方向的灵敏度轴;
调制线圈,可以通过被供给交流电流而对所述磁检测元件施加第一频率的交流磁场,所述第一频率的交流磁场包括与所述第一方向正交的所述第二方向的分量;以及
解调部,对来自所述磁检测元件的所述第一频率的输出信号进行解调,并且根据所述输出信号的振幅检测所述磁检测元件受到的被测定磁场的强度。
2.根据权利要求1所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部具有高通滤波器,所述高通滤波器使小于所述第一频率且大于等于第二频率的频率分量通过。
3.根据权利要求2所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部进一步具有相位检波电路,所述相位检波电路参照所述第一频率的方波取出相位检波信号,所述第一频率的方波的相位与来自所述磁检测元件的所述输出信号的相位相同。
4.根据权利要求3所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部进一步具有低通滤波器,所述低通滤波器使所述相位检波信号中的被测定分量平滑化且使其通过。
5.根据权利要求4所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部进一步具有A/D转换部,所述A/D转换部进行通过所述低通滤波器的被测定分量的A/D转换。
6.根据权利要求2所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部进一步具有采样保持电路。
7.根据权利要求6所述的磁场检测装置,其中,
所述解调部进一步具有A/D转换部,所述A/D转换部进行通过所述采样保持电路的样品分量的A/D转换。
8.根据权利要求7所述的磁场检测装置,其中,
所述A/D转换部对多个所述样品分量进行伴随时间平均处理的所述A/D转换。
9.根据权利要求1至权利要求8中的任一项所述的磁场检测装置,其中,
对所述磁检测元件,进一步具备施加包括所述第二方向的分量的偏磁场的偏磁场施加部。
10.一种磁场检测方法,包括:
通过对调制线圈供给交流电流而对磁检测元件施加第一频率的交流磁场,所述磁检测元件包括具有第一方向的第一磁化的固定层和具有在与所述第一方向正交的第二方向上稳定化的第二磁化的自由层,且具有沿着所述第一方向的灵敏度轴,所述第一频率的交流磁场包括与所述第一方向正交的所述第二方向的分量;以及
根据来自所述磁检测元件的所述第一频率的输出信号的振幅,检测所述磁检测元件受到的被测定磁场的强度。
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