[发明专利]一种多光谱紫外光灵敏度检测系统及方法

权利要求书

1.一种多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于包括：发光装置、衰减装置、检测装置和校验处理系统；

其中所述发光装置用于发射单色光源信号，单色光源信号进入衰减装置；

所述衰减装置包括n个积分球和n-1个可变光阑，n≥2，所述积分球包括一个入光孔和两个出光孔，相互连接的积分球之间，上一个积分球的出光孔通过一个可变光阑连接下一个积分球的入光孔，所要检测的紫外成像仪放置在最后一个积分球的出光孔处；

所述检测装置设置在积分球另一个出光孔处，同步记录检测情况，检测结果通过校验处理系统分析处理，得出紫外成像仪灵敏度检测结果。

2.根据权利要求1所述的多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于：所述发光装置为波长可调谐激光器，用于产生波长连续可调的光源信号；或者发光装置为光源和滤光装置，滤光装置用于将光源信号过滤为单色光源；所述光源为氙灯或特定波段的LED灯。

3.根据权利要求1所述的多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于：所述检测装置包括光功率计和光谱检测仪；所述光谱检测仪放置在第一个积分球的出光孔处，光功率计放置在其余积分球的出光孔处。

4.根据权利要求3所述的多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于：所述最后一个积分球处使用的光谱检测仪为光子计数器。

5.根据权利要求1所述的多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于：所述发光装置和衰减装置之间还设置有小孔光阑和/或光密度片。

6.根据权利要求1所述的多光谱紫外光灵敏度检测系统，其特征在于：所述积分球的光孔径大于等于50mm。

7.一种根据权利要求1至6任一所述检测系统检测紫外光灵敏度的检测方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)将待测紫外成像仪放置于检测系统衰减装置最后一个积分球的出光孔处，并将增益值调至最小，开启检测系统；

(2)调整波长可调谐激光器或者滤光装置，选择需要检测的波段或将相应的滤光片切换到光路；

(3)调节检测系统中第一个至第n-2个可变光阑，查看光功率计的示数是否满足检测要求，当满足光子计数器检测要求后，逐渐提高待测设备的增益至最大，调节待测设备的紫外通道手动对焦保证设备离焦，同时调节第n-1个可变光阑，使待测设备可检测的信号最小(即设备响应的最小信号)；

(4)校验处理系统记录此时设备状态，读取光子计数器中的光功率计数值，计算获取该待测设备的最低探测灵敏度数值；

(5)调整波长可调谐激光器或更换滤光片，测试下一波段；

(6)待检测完成后根据测试波段与灵敏度关系，绘制灵敏度光谱曲线，生成待测紫外成像仪灵敏度光谱曲线。

8.根据权利要求7所述检测紫外光灵敏度的检测方法，其特征在于：所述步骤(4)中校验处理系统计算最低探测灵敏度数值采用以下：

E_min为紫外光检测灵敏度，以瓦每平方厘米为单位表示；W为光子计数器检测的发光功率，单位为瓦；d为光子计数器的感光面直径，单位为mm。