[发明专利]中口径双光栅式波像差测量激光光学系统

权利要求书

1.一种中口径双光栅式波像差测量激光光学系统，其特征在于，包括由前至后同轴布置的第一双胶合透镜(1)、衍射光栅对(2)、选级滤波器(3)和第二双胶合透镜(4)；激光束首先通过第一双胶合透镜(1)汇聚传输，在光束聚焦前经两个栅线方向相互垂直的衍射光栅对(2)发生多级衍射，再通过聚焦处的选级滤波器(3)选取衍射光栅对衍射的±1级，滤除衍射零级和无用衍射级，最后经由第二双胶合透镜(4)准直出射；

所述第一双胶合透镜(1)由一块玻璃材料为H-K9L的单凸透镜和一块玻璃材料为H-ZF1的单凹透镜通过GGJ-2光敏胶胶合而成；

所述第一双胶合透镜(1)的单凸透镜直径为80mm，有效口径76mm，曲率半径分别为340.4mm和-226.654mm，中心厚度为12mm；

所述第一双胶合透镜(1)的单凹透镜直径为80mm，有效口径76mm，曲率半径分别为-226.654mm和-720.81mm，中心厚度为8mm；

所述衍射光栅对(2)包括两块栅线方向相互垂直的光栅，均由牌号为HPFS 7980UV的光学熔石英玻璃刻蚀而成，两块光栅均为直径80mm，有效口径75mm，中心厚度10mm，光栅频率5lp/mm，占空比0.5；

所述选级滤波器(3)材料为铝板，直径为5mm，厚度2mm，面上分布有4个直径0.55mm、厚度1mm的通孔，小孔为对称分布，位置分别为(-0.55mm，0)、(0，0.55mm)、(0.55mm，0)、(-0.55mm，0)；

所述第二双胶合透镜(4)由一块玻璃材料为H-ZF1的单凹透镜和一块玻璃材料为H-K9L的单凸透镜通过GGJ-2光敏胶胶合而成；

所述第二双胶合透镜(4)的单凹透镜直径为20mm，有效口径18mm，曲率半径分别为58mm和22.7mm，中心厚度为4mm；

所述第二双胶合透镜(4)的单凸透镜直径为20mm，有效口径18mm，曲率半径分别为22.7mm和-49.09mm，中心厚度为6mm；

所述第二双胶合透镜(4)的第一双胶合透镜(1)与衍射光栅对(2)的中心距离为353mm，衍射光栅对(2)与选级滤波器(3)的中心距离为169.52mm，选级滤波器(3)与第二双胶合透镜(4)的中心距离为59.78mm，第二双胶合透镜(4)可前后移动，行程为±3mm，用以调节两个双胶合透镜间的中心距离，补偿加工误差。