[发明专利]一种高转化率的四氯化硅合成炉在审
申请号: | 201911258849.8 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN110817884A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 周连会 | 申请(专利权)人: | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李桂芳 |
地址: | 063305 河北省唐山*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转化 氯化 合成 | ||
1.一种高转化率的四氯化硅合成炉,它包括合成炉炉体(18)、合成炉上封头(17)、合成炉下封头(2),合成炉上封头(17)和合成炉下封头(2)分别安装在合成炉炉体(18)的两端,合成炉上封头(17)安装有合成炉出口管(9),合成炉下封头(2)有氯化氢进口管道(21),合成炉炉体(18)内有合成炉反应段(7),其特征在于:在合成炉炉体(18)的外壁上设置外夹套换热装置,在合成炉炉体(18)内设置合成气体二次降温段,外夹套换热装置由外夹套换热管(8)、外夹套给水管(5)、外夹套回水管(12)组成,外夹套换热管(8)环绕合成炉炉体(18)自上而下铺设,外夹套换热管(8)的两端分别与外夹套给水管(5)、外夹套回水管(12)相连接,外夹套给水管(5)位于合成炉炉体(18)外壁的下部,外夹套回水管(12)位于合成炉炉体(18)外壁的上部,合成气体二次降温段由合成炉内换热管(15)、合成炉内换热给水管(10)、合成炉内换热回水管(11)组成,合成炉内换热管(15)安装在合成炉炉体(18)内的合成炉反应段(7)的上方,合成炉内换热管(15)的两端分别与合成炉内换热给水管(10)、合成炉内换热回水管(11)相连接,合成炉内换热给水管(10)、合成炉内换热回水管(11)安装在合成炉炉体(18)外壁上。
2.根据权利要求1所述的高转化率的四氯化硅合成炉,其特征在于:所述合成炉下封头(2)上还连接有氮气进口管道(22),氮气进口管道(22)与氯化氢进口管道(21)并联连接,氯化氢进口管道(21)和氮气进口管道(22)上分别安装有氯化氢流量调节阀(23)、氮气流量调节阀(24)。
3.根据权利要求1所述的高转化率的四氯化硅合成炉,其特征在于:所述合成炉下封头(2)内有合成炉筛板(3)和合成炉保护垫层(4),合成炉筛板(3)位于氯化氢进口管道(21)的进口上方,合成炉保护垫层(4)铺设在合成炉筛板(3)上,合成炉保护垫层(4)与合成炉反应段(7)的下端相对。
4.根据权利要求1所述的高转化率的四氯化硅合成炉,其特征在于:所述合成炉反应段(7)采用沸腾流化床,合成炉反应段(7)的上端与进料管(19)相连接,进料管(19)的进料口位于合成炉炉体(18)外壁上。
5.根据权利要求1所述的高转化率的四氯化硅合成炉,其特征在于:所述合成炉炉体(18)的外壁上有多个测温口(6),测温口(6)安装测温装置,测温装置与外夹套给水管(5)的给水调节阀(20)通过控制机构进行联锁控制。
6.根据权利要求1所述的高转化率的四氯化硅合成炉,其特征在于:所述合成炉上封头(7)的顶面上安装有炉顶测温装置(16),炉顶测温装置(16)与合成炉内换热给水管(10)的给水调节阀通过控制机构进行联锁控制。
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