[发明专利]基于多孔介质放电的等离子体发生装置在审
申请号: | 201911258871.2 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111010791A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 罗海云;王豪;刘涛;张丽阳;吴穷;王新新;邹晓兵 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 石茵汀 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 多孔 介质 放电 等离子体 发生 装置 | ||
1.一种基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,包括:
两条电极引出线,两个平板电极,多孔介质,绝缘外壳,进气口,出气口和脉冲电源;
所述两个平板电极保持间距平行设置,所述两个平板电极中间设置有所述多孔介质,所述多孔介质与所述平板电极紧密贴合;
所述多孔介质内部存在多个毫米级孔洞;
所述绝缘外壳包裹所述两个平板电极和所述多孔介质,在所述绝缘外壳上留有所述进气孔和所述出气口,供待处理气体通过;
所述两个平板电极通过卡槽固定在所述绝缘外壳上;
所述两条电极引出线一端分别与所述两个平板电极相连,另一端分别与所述脉冲电源的两极相连;
所述进气口和所述出气口设置在所述多孔介质两端的所述绝缘外壳上,待处理气体从所述进气口通过所述多孔介质后从所述出气口排出,待处理气体通过所述多孔介质时产生等离子体。
2.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,所述两个平板电极为导电金属电极。
3.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,所述多孔介质表面涂有催化剂。
4.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,还包括:风机,用于通过所述进气口将待处理气体吹进所述等离子体发生装置。
5.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,通过控制所述多孔介质的孔隙率来调节所述等离子体发生装置的处理速度和效果。
6.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,通过控制所述多孔介质的厚度来调节所述等离子体发生装置的处理速度和效果。
7.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,所述多孔介质包括但不限于金属氧化物陶瓷。
8.根据权利要求1所述的基于多孔介质放电的等离子体发生装置,其特征在于,所述绝缘外壳材质包括但不限于ABS工程塑料和有机玻璃。
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