[发明专利]一种金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法在审
申请号: | 201911259180.4 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN110926399A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 刘立娜;刘兆枫;何煊坤;杨东海;孙雪莲 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08;G01B21/10;G01N21/73;G01B15/00 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 王凤英 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 细丝 超薄 镀层 厚度 测试 方法 | ||
1.一种金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法,其特征在于,所述测试方法步骤如下:
步骤S1、取一定长度的样品,精确测量长度值L,称量样品出总质量M;
步骤S2、采用化学检测的方法,将其完全溶解,利用电感耦合等离子体光谱仪测试出镀层金属的质量mout;
步骤S3、样品总质量减去镀层金属质量的差即为金属细丝的质量min,计算公式如下:
min=M-mout...................................(1)
式中,min—金属细丝的质量,单位:g;
M—样品总质量,单位:g;
mout—金属镀层的质量,单位:g;
步骤S4、根据金属细丝的质量,计算得到金属细丝的半径r;计算公式如下:
式中,r—金属细丝的半径,单位:μm;
L—样品的长度,单位:μm;
ρin—金属细丝的密度,单位:g/μm3;
步骤S5、利用扫描电子显微镜测试包含镀层的样品的直径D;
步骤S6、通过以下公式计算得到包含镀层样品的半径R:
R=D/2.......................................(3)
式中,D—包含镀层的样品的直径,单位:μm;
R—包含镀层的样品的半径,单位:μm;
步骤S7、包含镀层样品的半径R减去金属细丝的半径r,得到金属镀层厚度d。
2.根据权利要求1所述的一种金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法,其特征在于,在步骤S2中,使用王水溶解样品,即在稀硝酸和盐酸的混合酸介质中溶解,独立地进行两次测定,取其平均值。
3.根据权利要求1所述的一种金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法,其特征在于,在步骤S5中,利用扫描电子显微镜测试包含镀层的样品的直径,测试十个位置,取其平均值。
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