[发明专利]一种上抛光盘水冷却系统有效

专利信息
申请号: 201911260499.9 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN110883696B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 王腾;阴俊沛;杨帅军;蒲以松 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B24B55/02 分类号: B24B55/02;B24B37/12;B24B49/14
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 水冷 系统
【权利要求书】:

1.一种上抛光盘水冷却系统,其特征在于,包括:

上抛光盘;

设置于所述上抛光盘一侧的旋转轴;

沿着所述旋转轴的延伸方向层叠套设于所述旋转轴上的第一水冷盘和第二水冷盘,所述第一水冷盘嵌设于所述上抛光盘上,所述第二水冷盘上设置有多个进水口,所述第一水冷盘设置有出水口,所述出水口与设置于所述旋转轴内的出水通道连通,所述第一水冷盘和所述第二水冷盘之间通过导流管连通;

所述第二水冷盘具有远离所述第一水冷盘的第一表面,所述第一表面对应于所述导流管的区域向远离所述第一水冷盘的方向凸起形成鼓包,所述导流管面向所述第一表面的一端与所述第一表面之间的距离小于预设距离。

2.根据权利要求1所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述第二水冷盘在所述上抛光盘上的正投影落入所述第一水冷盘在所述上抛光盘上的正投影内,所述第一水冷盘的厚度小于所述第二水冷盘的厚度。

3.根据权利要求1所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,还包括套设于所述旋转轴上的固定盘,所述固定盘位于所述第二水冷盘远离所述第一水冷盘的一侧以对所述第一水冷盘和所述第二水冷盘进行固定。

4.根据权利要求3所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述固定盘上设置有与所述多个进水口一一对应的通孔,每个所述进水口向外延伸并穿过所述通孔形成外露于所述固定盘的进水通道。

5.根据权利要求4所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述进水通道和所述出水通道的出口处均设置有温度传感器,所述进水通道上设置有用于根据所述温度传感器的信息调节冷却水流量的节流阀。

6.根据权利要求1所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述第一水冷盘和所述第二水冷盘之间的导流管位于所述第一水冷盘的边缘。

7.根据权利要求1所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述第一水冷盘嵌入所述上抛光盘的深度为所述第一水冷盘的厚度的1/2。

8.根据权利要求1所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,还包括设置于所述第一水冷盘和所述第二水冷盘之间的第三水冷盘,所述第一水冷盘和所述第三水冷盘之间、所述第三水冷盘和所述第一水冷盘之间均设有导流管,所述第三水冷盘和所述第一水冷盘之间的导流管位于所述第一水冷盘的边缘。

9.根据权利要求8所述的上抛光盘水冷却系统,其特征在于,所述第一水冷盘、所述第三水冷盘、所述第二水冷盘的厚度依次增加。

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