[发明专利]一种利用THz信号进行真空度检测的方法

权利要求书

1.一种利用THz信号进行真空度检测的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤(1)，在某一真空度下，分别采集该真空度下入射的THz信号数据和透射过后的THz信号数据，之后对入射的THz信号数据和透射过后的THz信号数据做傅里叶变换，之后求得归一化后入射频谱和出射频谱的幅度变化程度P(n)；

其中，X(i)为入射的THz信号数据经傅里叶变换后的数据，X’(i)为透射的THz信号数据经傅里叶变换后的数据，i为采样时刻；

步骤(2)，根据步骤(1)经傅里叶变换后的数据，计算归一化后入射频谱和出射频谱的频率变化值FD(i)；

FD(i)＝||X(i)-X’(i)||，如果FD(i)≥σ，则记录该采样时刻i；

步骤(3)，对步骤(2)记录的采样时刻的透射过后的经傅里叶变换的THz信号数据做傅里叶反变换，得到对应的频率，选择其中的最大值f_max；

步骤(4)，调整真空度，重复步骤(1)～步骤(3)，之后以f_max为横坐标，P(n)为纵坐标，以f_max跟P(n)构成的点进行连线，连线时按照f_max从小到达的顺序进行连接，绘制幅度差值-频率图；

之后选择幅度差值最大的频率，设置为检测专用频率，调整不同真空度，采用步骤(1)方法进行计算得到P(n)，之后以真空度为横坐标，P(n)为纵坐标，制作幅度差值和真空度的拟合曲线，从而实现真空度的定标检测。

2.根据权利要求1所述的利用THz信号进行真空度检测的方法，其特征在于，σ取值≤0.5×||X(i)||。