[发明专利]蓝宝石表面结构与成分梯度层设计改善其焊接性能的方法

权利要求书

1.蓝宝石表面结构与成分梯度层设计改善其焊接性能的方法，通过微波等离子体在蓝宝石表面获得结构梯度层，在结构梯度层的基础上通过双辉等离子渗金属表面处理获得成分梯度层；微波等离子体是以Ar和H₂混合气体形成的H⁺、Ar⁺等离子体；双辉等离子渗金属的靶材选择Nb或Ti元素；其特征在于，包括以下步骤：

（1）通过微波等离子体工艺，以Ar和H₂混合气体形成的H⁺、Ar⁺等离子体对蓝宝石表面进行刻蚀加工，气压范围为10KPa-100KPa，微波功率控制在4-6KW，使蓝宝石表面形成结构梯度层；

（2）对具有结构梯度层的蓝宝石进行双辉等离子渗金属表面处理，双辉等离子渗金属的靶材选择Nb或Ti金属；在具有结构梯度层的蓝宝石表面获得成分梯度层；渗金属工艺为温度是400-900℃，时间是1-30 min；

（3）对具有成分梯度层的蓝宝石进行焊接；焊接材料包括陶瓷材料、金属材料；焊接工艺为常用的Cu-Ag焊料，温度是400-800 ℃，时间是3-30 min。